[发明专利]一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜的蒸发舟无效
| 申请号： | 201210536327.1 | 申请日： | 2012-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN102978574A | 公开（公告）日： | 2013-03-20 |
| 发明（设计）人： | 苏子生;初蓓;李文连 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 蒸发 沉积 金属 薄膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空热蒸发沉积金属铝薄膜的蒸发舟，包括：上端敞口的圆柱形蒸发坩埚（11）；其特征在于，该蒸发舟还包括：
设置于所述圆柱形蒸发坩埚（11）上端外围的圆形缓冲平台（12）；
设置于所述圆形缓冲平台（12）外围上方的圆柱形防溢出阻挡层（13）。
2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆柱形蒸发坩埚（11）的直径为10-20 mm。
3.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆柱形蒸发坩埚（11）的高度为10-50 mm。
4.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆形缓冲平台（12）的直径比所述圆柱形蒸发坩埚（11）的大10 mm。
5.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆柱形防溢出阻挡层（13）的高度为2-10 mm。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆柱形蒸发坩埚（11）、所述圆形缓冲平台（12）和所述圆柱形防溢出阻挡层（13）的材料为石墨、氮化硼或氧化铝。
7.根据权利要求1-5任意一项所述的蒸发舟，其特征在于，所述圆柱形蒸发坩埚（11）、所述圆形缓冲平台（12）和所述圆柱形防溢出阻挡层（13）的厚度分别为0.5-2 mm。
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