[发明专利]一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗无效

专利信息
申请号: 201210538722.3 申请日: 2012-12-13
公开(公告)号: CN102978712A 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 滑喜宝 申请(专利权)人: 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00;F27D21/02
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215212 江苏省苏州市工业*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 水气 复合 冷却 蓝宝石 晶体生长 观察窗
【权利要求书】:

1.一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,包括观察窗镜片,法兰盘,密封圈,观察窗通水管道,观察窗通气管道,进气口,观察窗保护挡片和观察窗挡片旋动装置,其特征在于,所述观察窗使用水气复合冷却。

2.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗镜片使用石英镜片、蓝宝石镜片和普通耐温玻璃镜片三种镜片中的任意一种。

3.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗通水管道使用双层不锈钢和碳钢两种材料中的任意一种,中间通水,管道焊接于上炉盖上。

4.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,其特征在于,所述观察窗通气管道焊接于通水管道上,使用单层不锈钢和碳钢两种材料中的任意一种,外壁有气体接入口,内壁有氩气出口。

5.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述密封圈使用聚四氟乙烯和全弗橡胶或普通橡胶两种材料中的任意一种。

6.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述法兰盘使用不锈钢和碳钢两种材料中的任意一种材料加工而成。

7.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗保护挡片使用不锈钢、钨、钼和碳钢四种材料中的任意一种材料加工而成。

8.根据权利1所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述观察窗挡片旋动机构为一气动电机通过一根轴带动观察窗保护挡片旋转,来遮蔽和暴露观察窗镜片。

9.根据权利8所述一种水气复合冷却蓝宝石晶体生长炉观察窗,其特征在于,所述轴使用不锈钢、钨和钼三种材料中的任意一种。

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