[发明专利]一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统无效
申请号: | 201210538723.8 | 申请日: | 2012-12-13 |
公开(公告)号: | CN102978691A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 滑喜宝 | 申请(专利权)人: | 苏州工业园区杰士通真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/20 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215212 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 蓝宝石 晶体生长 加热 系统 | ||
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,包括上发热体,中部发热体和底部发热体,其特征在于,所述三部分发热体共同调节炉腔晶体生长所需的温度梯度。
2.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述上部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪悬挂于炉壁上,所述中部发热体通过6片网带上焊接的钨电极爪支撑于炉壁上,所述底部发热体通过3片板型网带支撑于下炉盖上。
3.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述三部分发热体采用螺旋形钨丝编织而成。
4.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述三部分发热体均采用星型结构三相供电,可独立调节功率,固定于坩埚周围和隔热屏里面。
5.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述上发热体和中部发热体均由6片圆弧状编织带构成。
6.根据权利5所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述6片圆弧状编织带围成圆形结构,相对的2片圆弧状编织带为一相,共有3相,尾端短接,采用三相供电星型接法。
7.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述底部发热体由3片板型网带构成,尾端短接,采用星型接法。
8.根据权利1所述一种新型蓝宝石晶体生长炉加热系统,其特征在于,所述加热系统使用功率控制,调节精度万分之一,稳定精度万分之五。
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