[发明专利]一种膜固化装置

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示制造技术领域，特别涉及一种膜固化装置。

背景技术

膜固化是指将涂覆在基板上的光刻胶或取向膜等加热发生化学反应的过程，包括加热和冷却两个阶段，分别在加热炉和冷却炉完成的；具体地，首先将涂覆有光刻胶或取向膜的基板放置在加热炉中加热，使光刻胶或取向膜发生反应，然后再将该基板放置在冷却炉中冷却固化。

不过，现有的加热炉采用热传导的方式加热，加热到230℃要需25分钟左右，加热时间较长，而且在加热炉中完成加热后，还要放进冷却炉进行冷却，需要一定的周转时间；因此，利用加热炉和冷却炉进行膜固化的过程耗时长，膜固化的效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。

优选地，所述进排气单元包括：

固定安装在所述炉腔顶部，用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元；

以及固定安装在所述炉腔顶部，用于将进入所述炉腔内的气体排出的排气子单元。

优选地，所述控制单元为可编程逻辑控制器。

优选地，所述微波加热单元固定安装在所述炉腔顶部。

进一步地，上述膜固化装置还包括：固定安装在所述炉腔底部的支撑单元。

优选地，所述支撑单元为多个玻璃支撑管或多个陶瓷支撑管。

优选地，所述支撑管的高度小于5cm。

进一步地，上述膜固化装置还包括：设置在所述炉门四周，用于吸收从所述炉门与所述炉体之间的缝隙泄漏的微波的门封条。

优选地，所述门封条为硅橡胶门封条。

进一步地，上述膜固化装置还包括：设置在炉门上的联锁微动开关。

本发明提供的膜固化装置，采用微波加热的方式进行加热，是利用微波对分子中极性基团的独特作用，即微波透入被加热物料内与被加热物料中的极性分子间相互作用转化为热能，使被加热物料各部分在同一瞬间获得热量而升温，无需任何热传导过程就能使被加热物料内部和外部同时加热、同时升温；与现有的采用热传导加热方式相比，能够在较短的时间内使被加热物料达到设定的温度；另外，本发明提供的膜固化装置还可以对被加热物料进行快速冷却，减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间；因此，与现有技术相比，利用本发明提供的膜固化装置进行膜固化，减少加热时间和周转时间，从而提高了膜固化的效率。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种膜固化装置的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的微波加热时间和亚酰化度的关系图。

具体实施方式

现有的膜固化过程，一般采用热传导的加热方式进行膜固化，加热时间较长，而且，在加热完成后还要在冷却炉中进行冷却，需要一定的周转时间，因此，利用加热炉和冷却炉进行膜固化的过程耗时长，膜固化效率低。

有鉴于此，本发明提供了一种改进的技术方案，采用微波加热的方式进行膜固化，将缩短加热的时间；并将加热和冷却设置在同一装置内，减少了周转时间，从而提高了膜固化的效率。

为了使本领域技术人员更好的理解本发明的技术方案，下面结合说明书附图对本发明实施例进行详细的描述。

首先申明，在液晶显示制造技术领域，膜固化包括：光刻胶固化、取向膜固化及封框胶固化等，为了描述方便，下文将以取向膜固化为例进行说明。

如图1所示，本发明提供的一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体10，设置在炉体10上的炉门11，设置在炉腔内的微波加热单元13；与微波加热单元13信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元（图中未画出）；以及设置在炉腔内的进排气单元14。

具体地，采用微波加热的方式，是利用微波对分子中极性基团的独特作用，即微波透入取向膜内与取向膜的极性分子间相互作用转化为热能，使取向膜各部分都在同一瞬间获得热量而升温完成聚酰胺酸亚酰化反应；如图2所示，在聚酰胺酸亚酰化反应中，微波加热时间7min内亚酰化度能达到91%，而常规加热5小时亚酰化度才能达到57%，可见，采用微波加热的方式进行膜固化，加热速度快，聚酰胺酸亚酰化反应完全，从而显著提高了膜固化的效率。