[发明专利]大功率模块用铝碳化硅基板成形方法

权利要求书

1.一种大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：包括以下步骤：

第一步：设计与制备成形用模壳：根据铝碳化硅基板的形状及尺寸，设计与制备铝碳化硅基板成形用模壳，所述模壳为熔模铸造模壳或壳型铸造模壳；所述模壳的外部通过砂箱紧固；

第二步：将碳化硅粉末装入第一步制得的模壳中，并利用振动紧实方法紧实碳化硅粉末；

第三步：将模具与砂箱装配好后进行预热；

第四步：将熔炼好的铝合金熔液浇注至已预热好的模具中，施加压力使铝合金熔液充满碳化硅粉末之间的孔隙，并在压力下凝固，将模壳破碎后即获得成形的大功率模块用铝碳化硅基板。

2.如权利要求1所述的大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：所述模具与砂箱的安装结构为：所述模具通过密封圈安装于砂箱顶部。

3.如权利要求1所述的大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：第一步中，砂箱紧固的方法采用填充黄砂、石膏、莫来砂。

4.如权利要求1所述的大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：第二步中，所述振动紧实方法为二维机械振动、三维机械振动、超声波振动。

5.如权利要求1所述的大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：第三步中，模具预热的温度为400-800℃。

6.如权利要求1所述的大功率模块用铝碳化硅基板成形方法，其特征在于：第四步中，施加压力的方式为液压或气压，施加的压力值为5 MPa～40MPa，加压时间为 1～10min。