[发明专利]PECVD镀膜装置及其射频电源与真空腔体的连接装置

权利要求书

1.一种PECVD镀膜装置，包括真空腔体和射频电源，其特征在于，所述真空腔体与所述射频电源之间设置连接装置，所述连接装置拆卸式固定在所述真空腔体外部，所述连接装置包括屏蔽套，在所述屏蔽套内设置绝缘套，所述绝缘套内设置引入电极，所述引入电极的一端伸入到所述真空腔体内，另一端与所述射频电源输出端连接的匹配器的匹配器入口接头可拆卸式连接。

2.根据权利要求1所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述真空腔体上设置用于所述引入电极穿过的电极孔，所述电极孔一侧沿着所述真空腔体外部延伸有连接管，所述连接管远离所述电极孔的一端设置第一连接法兰。

3.根据权利要求2所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述屏蔽套内部镂空，其第一端开口，第二端设置有第一封板，所述第一连接法兰设置在所述屏蔽套的第一端内，所述第一连接法兰一侧、所述屏蔽套的第一端内部设置与所述第一连接法兰相匹配的第二连接法兰，所述第一连接法兰与第二连接法兰通过第三螺钉连接为一体。

4.根据权利要求3所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述第一连接法兰与第二连接法兰中部均设置有所述引入电极穿过的通孔，且所述引入电极不与所述第一连接法兰、第二连接法兰接触，所述第一连接法兰与第二连接法兰之间、所述引入电极上设置用于对所述真空腔体进行密封的金属密封圈。

5.根据权利要求3或4所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述绝缘套内部镂空，其第一端开口，第二端设置有第二封板，所述第二连接法兰远离所述第一连接法兰的一端设置在所述绝缘套的第一端内，所述第二连接法兰远离所述第一连接法兰的一端、所述绝缘套内烧结有第一连接环，所述第一连接环远离所述第二连接法兰的一端烧结有第二连接环，所述第二连接环烧结在与所述引入电极上，使所述第二连接环与所述引入电极呈一体式设置。

6.根据权利要求5所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述绝缘套和屏蔽套上设置维修部，所述维修部包括设置在所述绝缘套和屏蔽套上的维修槽，所述维修槽处、由所述绝缘套内部向外依次拆卸式设置绝缘板、屏蔽板，所述屏蔽板远离所述绝缘板的一侧设置维修固定板，所述维修固定板通过第二螺钉固定在屏蔽套上。

7.根据权利要求1～4任一所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述引入电极与匹配器入口接头通过连接螺帽连接为一体，在所述连接螺帽的一侧、所述引入电极上设置用于紧固所述连接螺帽的并紧螺帽。

8.根据权利要求6所述的PECVD镀膜装置，其特征在于，所述屏蔽套的第一端通过第四螺钉与所述第一连接法兰外围连接，所述屏蔽套的第二端远离第一端的一侧拆卸式设置用于固定所述匹配器入口接头的第三连接法兰。

9.一种PECVD镀膜装置的射频电源与真空腔体的连接装置，其特征在于，包括屏蔽套，在所述屏蔽套内设置绝缘套，所述绝缘套内设置引入电极，所述引入电极具有伸入到真空腔体内的第一端和与射频电源输出端连接的匹配器的匹配器入口接头连接的第二端。

10.根据权利要求9所述的连接装置，其特征在于，所述屏蔽套和绝缘套上设置维修部，所述维修部包括设置在所述绝缘套和屏蔽套上的维修槽，所述维修槽处、由所述绝缘套内部向外依次拆卸式设置绝缘板、屏蔽板，所述屏蔽板远离所述绝缘板的一侧设置维修固定板，所述维修固定板通过第二螺钉固定在屏蔽套上。