[发明专利]搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块

说明书

技术领域

本文所公开的实施方式涉及搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块。

背景技术

常规上，已知有一种搬运机器人，该搬运机器人设置在形成于设备前端模块（EFEM）中的空间内并且搬运诸如半导体晶片的基板。

搬运机器人通常包括臂主体，并且例如通过在由臂主体保持基板的情况下沿水平方向移动臂主体以及移动设置在臂主体的末端部处的末端执行器来搬运基板。臂主体自身通常由能够执行升降操作的升降单元来支承。

因为诸如半导体晶片的产品在EFEM中被操纵，因此特别需要保持EFEM内的空气极其清洁。因此，通常从EFEM的上部产生清洁空气的向下流，然而，还是提出通过利用附加方法来防止被颗粒物污染的各种搬运机器人。

例如，提出一种这样的搬运机器人，该搬运机器人通过利用罩构件覆盖包括上述的臂主体和升降单元的搬运单元来防止由向下流的扰动而分散的颗粒物的附着（例如，参见日本专利特开公报H10-261690）。

然而，常规的搬运机器人在抑制由升降操作产生的颗粒物方面具有进一步改进的余地。具体地，当搬运机器人具有其中上述升降单元借助从搬运机器人的主体单元（以下文中，描述为“基部单元”）突出而升降的结构时，基板可能被因升降操作从基部单元的内部分散的颗粒物污染。

考虑到以上内容获得实施方式的一方面，并且实施方式的一方面的目的在于提供一种搬运机器人和包括该搬运机器人的设备前端模块，所述搬运机器人能够抑制因升降操作而产生颗粒物。

发明内容

根据实施方式的一方面的搬运机器人包括：臂单元、基部单元、引导单元、升降单元以及通风部。所述臂单元包括机器人手，所述机器人手能够保持待被搬运的物体。所述基部单元形成为大体盒形形状。所述引导单元包括竖直地设置在所述基部单元中的竖直轴。所述升降单元设置成能够沿着所述竖直轴升降并且在上端部处支承所述臂单元。所述通风部在所述基部单元的上表面中开口，并且将向下流从所述基部单元的外部引至其内部。

根据实施方式的一方面，能够抑制因升降操作而产生颗粒物。

附图说明

由于通过结合附图参照下列详细说明更好地理解对本发明的更全面的认识以及本发明的许多附带优点，因此能够容易地获得对本发明的更全面的认识以及本发明的许多附带优点，在附图中：

图1是示出根据一实施方式的搬运机器人的整体构造的示意性立体图；

图2A是从上方所看的基部单元的第一示意图；

图2B是示出从侧表面所看的常规技术和当前实施方式之间的对比的示意图；

图2C是从上方所看的基部单元的第二示意图；

图3A是从Y轴的正向所看的基部单元的内部示意图；

图3B是从Y轴的负向所看的基部单元的示意图；

图4A是从X轴的正向所看的基部单元的内部示意图；

图4B是从上方所看的基部单元的示意图，用于说明在表面A侧的通风部的宽度；以及

图5是从X轴的正向所看的基部单元的内部示意图，示出了所引入的向下流的流路。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细地说明在本申请中公开的搬运机器人和包括搬运机器人的设备前端模块的实施方式。本发明不局限于下列实施方式。

在下文中，以设置在EFEM中并且搬运作为待搬运物体的半导体晶片的搬运机器人为例进行说明。此外，“半导体晶片”被描述为“晶片”。而且，作为末端执行器的“机器人手”被描述为“手”。

首先，将参照图1说明根据一实施方式的搬运机器人的构造。图1是示出根据该实施方式的搬运机器人10的构造的示意性立体图。

为了便于理解说明，在图1中，示出了包括Z轴的三维卡笛尔坐标系，在该Z轴中，正向为竖直向上方向，负向为竖直向下方向。因此，沿着XY平面的方向表示“水平方向”。在一些情况下，在用于下文说明的其它图中也示出该卡笛尔坐标系。

而且，在下文中，对于由多个元件组成的部件，这些元件中的仅一个元件被标以附图标记，并且在一些情况下省略其它元件的附图标记。在该情况下，标记有附图标记的那个元件以及其它元件具有相同的构造。

如图1所示，搬运机器人10包括手11、升降单元12、第一臂13、第二臂14和基部单元15。基部单元15包括通风部15a和排风部15b。

第一臂13和第二臂14构成作为搬运机器人10的臂的臂单元。