[发明专利]一种原位光学检测装置

权利要求书

1.一种原位光学检测装置，应用于原子层沉积设备，其特征在于：包括光学测试系统和光学镜头配套组件，所述光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部，所述光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在所述镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管，所述转角组件两端分别连接所述光学镜头和所述光学镜头延长管；所述光学测试系统通过光学组件与所述光学镜头延长管连接，形成测试光路；所述镜头腔通过第一法兰组件固定在所述反应腔室的侧壁上。

2.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述光学镜头为高精度长焦镜头。

3.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述光学镜头配套组件还包括波纹管和伸缩组件，所述波纹管设置在所述镜头腔和所述第一法兰组件之间，所述伸缩组件设置在所述光学镜头延长管的外端，所述波纹管在所述伸缩组件进行伸缩位移时对应进行同步伸缩。

4.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述光学镜头配套组件还包括镜头保护阀，所述镜头保护阀通过第二法兰固定在所述镜头腔上。

5.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述光学测试系统包括光源、收集系统、分光系统和检测系统；所述光源，用于发出入射光信号；所述收集系统，用于将入射光信号入射至待测样品表面，之后所述待测样品表面发出多种待测信号；所述分光系统，用于滤除所述待测信号中的干扰光学信息；所述检测系统，用于对捕获的待测信号进行检测。

6.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述原位光学检测装置还包括光学平台，用于放置光学测试系统。

7.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述原位光学检测装置所用的检测方法为拉曼、光致发光光谱、角分辨光电子能谱的检测方法。

8.如权利要求1所述的原位光学检测装置，其特征在于：所述光学组件为光纤。