[发明专利]一种光刻胶去除剂

权利要求书

1.一种光刻胶去除剂，其包含：季铵氢氧化物，醇胺，糖和/或糖醇，表面活性剂以及溶剂。

2.如权利要求1所述的光刻胶去除剂，其特征在于：所述季铵氢氧化物的浓度为0.1~10wt%，所述醇胺的浓度为0.1~30wt%，所述糖和/或糖醇的浓度为0.1~5wt%，所述表面活性剂的浓度为0.01~3wt%，所述溶剂的含量为余量。

3.如权利要求2所述的光刻胶去除剂，其特征在于：所述季铵氢氧化物的浓度为1~5wt%，所述醇胺的浓度为0.1-15wt%，所述糖和/或糖醇的浓度为0.1~3wt%，所述表面活性剂的浓度为0.1~1wt%。

4.如权利要求2或3所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述季铵氢氧化物与所述醇胺的质量比为6比1与1比2.5之间。

5.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的季铵氢氧化物选自四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、甲基三乙基氢氧化铵、羟乙基三甲基氢氧化铵、十六烷基三甲基氢氧化铵和苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。

6.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：本发明中所述的醇胺选自单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、正丙醇胺、异丙醇胺、2-(二乙氨基)乙醇、乙基二乙醇胺和二甘醇胺中的一种或几种。

7.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的糖和/或糖醇选自苏阿糖、阿拉伯糖、木糖、核糖、核酮糖、木酮糖、葡萄糖、甘露糖、半乳糖、塔格糖、阿洛糖、阿卓糖、艾杜糖、塔罗糖、山梨糖、阿洛酮糖、果糖、苏糖醇、赤藓醇、核糖醇、阿拉伯糖醇、木糖醇、塔罗糖醇、山梨醇、甘露醇、艾杜糖醇和半乳糖醇中的一种或者几种。

8.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的表面活性剂为聚乙烯吡咯烷酮。

9.如权利要求1所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的溶剂选自有机溶剂或有机溶剂与水的混合物。

10.如权利要求9所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的有机溶剂选自亚砜、砜、咪唑烷酮、吡咯烷酮、咪唑啉酮、酰胺和醇醚中的一种或多种。

11.如权利要求10所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的亚砜选自二甲基亚砜和甲乙基亚砜中的一种或多种；所述的砜选自甲基砜和环丁砜中的一种或多种；所述的咪唑烷酮选自2-咪唑烷酮和1,3-二甲基-2-咪唑烷酮中的一种或多种；所述的吡咯烷酮选自N-甲基吡咯烷酮、N-环己基吡咯烷酮和N-羟乙基吡咯烷酮中的一种或多种；所述的咪唑啉酮为1,3-二甲基-2-咪唑啉酮；所述的酰胺选自二甲基甲酰胺和二甲基乙酰胺中的一种或多种；所述的醇醚选自二乙二醇单甲醚、二乙二醇单丁醚和二丙二醇单甲醚中的一种或多种。

12.如权利要求9所述的光刻胶清洗剂，其特征在于：所述的溶剂选自有机溶剂与水的混合物时，混合物中水的含量不超过10wt％。