[发明专利]一种用于反应腔的基板加热及传输装置

权利要求书

1.一种用于反应腔的基板加热及传输装置，其特征在于：包括安装在反应腔（1）侧壁上的滚轮传动装置和设置在反应腔（1）底部的升降支撑装置，其中，所述滚轮传动装置包括仅支持转动的磁流体密封传动装置（2）及受其制动的传输滚轮（3），所述传输滚轮（3）通过传输垫板（4）运输基板；所述升降支撑装置包括加热板托架（5）及控制其运动的升降气缸（6），所述加热板托架（5）上设有加热板（7）。

2.根据权利要求1所述的用于反应腔的基板加热及传输装置，其特征在于：所述升降气缸（6）的推杆外套设有金属波纹管（8）。

3.根据权利要求1所述的用于反应腔的基板加热及传输装置，其特征在于：所述传输垫板（4）与加热板（7）为面-面接触。

4.根据权利要求1所述的用于反应腔的基板加热及传输装置，其特征在于：所述传输垫板（4）的面积为单块基板面积的两倍以上。