[发明专利]用于硼扩散的涂布液

权利要求书

1.一种用于将硼扩散到硅衬底中以形成p型扩散层的涂布液，其包括硼化合物、有机粘结剂、硅化合物、氧化铝前体、以及水和/或有机溶剂。

2.权利要求1的涂布液，其中，该硼化合物的存在量按重量计算为该涂布液的至多4％。

3.权利要求1的涂布液，其中，该有机粘结剂为聚乙烯醇，并且其存在量按重量计算为该涂布液的至多4％。

4.权利要求1的涂布液，其中，该硅化合物为二氧化硅，并且其存在量按重量计算为该涂布液的至多5％。

5.权利要求1的涂布液，其中，该氧化铝前体为能经热处理形成氧化铝的化合物，并且其存在量按重量计算为该涂布液的至多8％。

6.权利要求1的涂布液，其在25℃下粘度为80到140mPa-s。

7.一种用权利要求1的涂布液制造半导体器件的方法。

8.权利要求7的方法，其中该半导体器件为太阳能电池。

9.权利要求8的方法，包括如下步骤：

提供具有纹理的n型硅衬底，

施加权利要求1的涂布液到硅衬底的一个表面，

使p型扩散层形成，

在硅衬底的另一个表面上形成n型扩散层，

在每个扩散层上形成防反射涂层，以及

形成电极。

10.由权利要求7的方法制造的一种半导体器件。

11.由权利要求8的方法制造的一种太阳能电池。