[发明专利]用于形成细微图案的水溶性树脂组成物及利用其形成细微图案的方法

权利要求书

1.一种减小接触孔的大小的方法，所述方法通过在形成有接触孔图案的光阻膜上涂抹溶液聚合形成的共聚物后进行热处理来减少接触孔的大小，所述溶液包括含降冰片烯基单体与末端的氧部分上包含具有相互不同的官能团的两种含(甲基)丙烯酸酯基单体。

2.一种在形成接触孔图案的光阻膜上进行涂抹及热处理以减少接触孔的大小的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，所述组成物包括：

用下面的[化学式1]标示的水溶性聚合物及第1水溶性溶剂，

[化学式1]

其中，上述[化学式1]中，R₁、R₂、R₃、R₄和R₆各为包括独立的氢、醚基、羟基、酯基、羰基、乙酰基、环氧基、腈基、胺基、内酯基或醛基的C_1-30的烷基或C_3-30的环烷基，在这里R₃≠R₄，并且R₅、R₇、R₈、R₉、R₁₀各为独立的氢或甲基，n是0至5的整数，a是0.05至0.5的实数，b、c、d和e分别是0.7以下的实数，a、b、c、d和e满足a+b+c+d+e＝1的条件。

3.如权利要求2所述的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，其中，上述水溶性溶剂由水和醇按照100∶1～20的重量比组成。

4.如权利要求2所述的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，其中，上述水溶性溶剂与水溶性聚合物按照100∶0.01～15的重量比组成。

5.如权利要求2所述的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，其中，上述醇是烷氧基醇类醇。

6.如权利要求2所述的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，其中，上述水溶性聚合物的依照凝胶渗透色谱法GPC的聚苯乙烯换算当量平均分子量Mw为3000至50000。

7.如权利要求6所述的用于形成细微图案的水溶性树脂组成物，其中，上述水溶性聚合物的分子量分布(重均分子量/数均分子量)为1.0到5.0。

8.一种用于形成细微图案的方法，包括以下步骤：

形成光阻膜；

根据光刻工艺在上述光阻膜上形成接触孔图案，制备光阻图案膜；

在上述光阻图案膜上，涂抹权利要求2中的水溶性树脂组成物；

对上述水溶性树脂组成物涂抹的光阻图案膜进行热处理来形成包括交联部位的涂层膜；和

用第2水溶性溶剂溶解上述涂层膜，进而除去交联部位以外的涂层膜。

9.如权利要求8所述的用于形成细微图案的方法，其中，上述第2水溶性溶剂是水。

10.如权利要求8所述的用于形成细微图案的方法，其中，热处理温度为100～200度。

11.如权利要求8所述的用于形成细微图案的方法，其中，接触孔大小通过调整热处理的温度来进行调节。

12.如权利要求8所述的用于形成细微图案的方法，其中，上述光阻膜为包括降冰片烯衍生物的非水溶性膜。