[发明专利]一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉无效
| 申请号： | 201210548747.1 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN102965724A | 公开（公告）日： | 2013-03-13 |
| 发明（设计）人： | 曾宪林;吴少凡;郑熠 | 申请（专利权）人： | 福建福晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 350003 福建省福州市鼓楼区*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双层 石英管 密封 结构 提拉法单晶炉 | ||
【权利要求书】：
1.一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括一种双层石英管密封结构提拉法单晶炉，包括由内外层石英管和上下法兰构成的双层石英管密封炉膛，中频感应线圈装置，坩埚升降机构和称重传感器，其特征在于：所述内层石英管的内腔可抽真空或者充气保护体防止坩埚高温氧化，所述内外层石英管之间可以通水或通气冷却。
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