[发明专利]用于匹配器的传感器及具有其的匹配器、等离子体设备

权利要求书

1.一种用于匹配器的传感器，其特征在于，包括：

金属柱体；

绝缘套，所述绝缘套套设在所述金属柱体的外周面上；

接地壳，所述接地壳套设在所述绝缘套外面；

环状件，所述环状件套设在所述绝缘套外面且位于所述接地壳内；

感应线圈，所述感应线圈套设在所述环状件外面且位于所述接地壳内；和

电路板，所述电路板套设在所述环状件外面且位于所述接地壳内，

在所述绝缘套的轴向剖面内，顺着所述绝缘套的表面从所述绝缘套的一个端面的内沿到外沿的线段定义为第一线段，顺着所述绝缘套的表面从所述外沿到所述接地壳的线段定义为第二线段；其中

所述绝缘套的上端面的第一线段、上端面的第二线段、下端面的第一线段以及下端面的第二线段中至少有一条线段为曲线。

2.根据权利要求1所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述传感器为电流传感器，所述环状件为接地环且与所述接地壳相连以构成所述接地壳的一部分。

3.根据权利要求1所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述传感器为电压或功率传感器，所述环状件为感应环。

4.根据权利要求2或3所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述绝缘套上端面的第二线段为顺着所述绝缘套的表面从所述绝缘套的上端面的外沿到所述接地环的上表面或所述接地壳的上表面的线段，所述绝缘套下端面的第二线段为顺着所述绝缘套的表面从所述绝缘套的下端面的外沿到所述接地壳的下表面的线段。

5.根据权利要求1所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述第一线段为直线，所述第二线段为曲线。

6.根据权利要求5所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述绝缘套的至少一个端面的外周壁上套设有延伸套。

7.根据权利要求6所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述延伸套与所述绝缘套一体形成。

8.根据权利要求1所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述第一线段为曲线，所述第二线段为直线。

9.根据权利要求8所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述绝缘套的至少一个端面上设有端套，所述端套的远离所述绝缘套的表面上设有至少一个沿所述端套的周向延伸的周向凹槽。

10.根据权利要求9所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述端套的与所述绝缘套相接的表面上设有沿所述端套的周向延伸的固定槽，所述绝缘套的至少一个端面上设有沿所述绝缘套的周向延伸且配合在所述固定槽内的固定凸起。

11.根据权利要求8所述的用于匹配器的传感器，其特征在于，所述绝缘套的至少一个端面上形成有沿所述绝缘套的周向延伸的凹槽。

12.一种匹配器，包括如权利要求1-11中任一项所述的用于匹配器的传感器。

13.一种等离子体设备，包括如权利要求12所述的匹配器。