[发明专利]双向闸阀和具有双向闸阀的衬底加工系统

权利要求书

1.一种双向闸阀，包括：

阀室，其具有与第一室联接的第一入口、与第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭的室盖；

移动模块，其具有用于密封所述第一入口的第一密封板、用于密封所述第二入口的第二密封板以及所述第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；

推-拉模块，其具有推-拉模块主体、第一操作主体以及第二操作主体，所述推-拉模块主体与所述移动模块主体联接以便所述移动模块主体能够线性移动，所述第一操作主体用于在第一入口方向上移动所述移动模块以便所述第一密封板密封所述第一入口，所述第二操作主体用于在第二入口方向上移动所述移动模块以便所述第二密封板密封第二入口；

第一驱动装置，其用于驱动所述第一操作主体；

第二驱动装置，其用于驱动所述第二操作主体；以及

第三驱动装置，其用于在操作位置和备用位置之间移动所述推-拉模块，

其中，当所述推-拉模块被所述第三驱动装置移动至所述操作位置时，所述第一操作主体由所述第一驱动装置操作或者所述第二操作主体由所述第二驱动装置操作，以便选择性地密封所述第一入口和第二入口中的一个入口。

2.根据权利要求1所述的双向闸阀，其中，所述第一操作主体包括与所述推-拉模块主体可旋转地联接的旋转轴以及具有被连接至所述第一驱动装置的移动轴的推动杆，并且当所述第一驱动装置移动所述移动轴时，所述推动杆在绕所述旋转轴上旋转的同时在所述第一入口方向上推动和移动所述移动模块，以便所述第一密封板密封所述第一入口。

3.根据权利要求1所述的双向闸阀，其中，所述第一驱动装置包括与所述第一操作主体联接的第一轴和用于驱动所述第一轴的第一阀缸，所述第二驱动装置包括与所述第二操作主体联接的第二轴和用于驱动所述第二轴的第二阀缸，并且所述第三驱动装置包括与所述推-拉模块联接的第三轴和用于驱动所述第三轴的第三阀缸。

4.根据权利要求3所述的双向闸阀，其中，所述第一至第三阀缸相当于液压驱动缸、气动驱动缸和螺线管驱动缸中的一个。

5.根据权利要求1所述的双向闸阀，还包括用于将所述第一至第三驱动装置真空密封在所述阀室内的波纹管。

6.根据权利要求1所述的双向闸阀，其中，所述推-拉模块包括弹性构件，所述弹性构件用于在所述移动模块主体由所述第一操作主体或所述第二操作主体操作之后，使所述移动模块主体返回至原始位置。

7.根据权利要求1所述的双向闸阀，还包括在所述推-拉模块和所述移动模块之间设置的一个或多个辊子。

8.一种衬底加工系统，包括：

第一室；

第二室；

阀室，其具有与所述第一室联接的第一入口、与所述第二室联接的第二入口以及可打开且可关闭的室盖；

移动模块，其具有用于密封所述第一入口的第一密封板、用于密封所述第二入口的第二密封板以及所述第一和第二密封板安装到其上的移动模块主体；

推-拉模块，其具有推-拉模块主体、第一操作主体以及第二操作主体，所述推-拉模块主体与所述移动模块主体联接以便所述移动模块主体能够线性移动，所述第一操作主体用于在第一入口方向上移动所述移动模块以便所述第一密封板密封所述第一入口，所述第二操作主体用于在第二入口方向上移动所述移动模块以便所述第二密封板密封所述第二入口；

第一驱动装置，其用于驱动所述第一操作主体；

第二驱动装置，其用于驱动所述第二操作主体；以及

第三驱动装置，其用于在操作位置和备用位置之间移动所述推-拉模块，

其中，当所述推-拉模块被所述第三驱动装置移动至所述操作位置时，所述第一操作主体由所述第一驱动装置操作或者所述第二操作主体由所述第二驱动装置操作，以便选择性地密封所述第一入口和第二入口中的一个入口。

9.根据权利要求8所述的衬底加工系统，其中，所述第一室相当于具有用于传输待加工衬底的传输设备的传输室，并且所述第二室相当于用于真空加工待加工衬底的加工室。

10.根据权利要求9所述的衬底加工系统，其中，所述传输室相当于大气压力室和真空室中的一个。

11.权利要求8所述的衬底加工系统，其中，所述第一室和第二室是用于真空加工待加工衬底的加工室。

12.权利要求8所述的衬底加工系统，其中，所述第一室相当于具有用于传输待加工衬底的传输设备的传输室，并且所述第二室相当于用于交换待加工衬底的加载互锁真空室。