[发明专利]探针卡和强制空气冷却探针头组件

权利要求书

1.一种探针卡，通常被安装成垂直于加热的受测装置以在测试过程中减少对探针卡的热传递，所述探针卡包括：

a) 印刷电路板，

b) 尖端组件，其包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端，

c) 在电路板的相对端上的多个电触点，

d) 电路板上的导电图形，其用于将电路板一端上的尖端电连接到电路板相对端上的电触点，

e) 紧固件，其用于将受测装置上方的支承件与大致垂直对准了受测装置的印刷电路板相接合，其中，大致垂直的对准在测试过程中减少从加热的受测装置到印刷电路板的热传递，和

f) 贯穿印刷电路板的多个开口，其用于促进冷却空气流动，以便冷却探针卡。

2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于，受测装置是半导体晶片。

3.如权利要求1或2所述的探针卡，其特征在于，尖端组件包括用于多个尖端的陶瓷支承件。

4.如权利要求1-3中任一项所述的探针卡，其特征在于，紧固件包括与支承件中的插口相匹配的突起连接件。

5.如权利要求1-4中任一项所述的探针卡，其特征在于，冷却空气从受测装置上方的支承件流动。

6.如权利要求5所述的探针卡，其特征在于，支承件包括用于冷却空气流动的内部通道。

7.如权利要求6所述的探针卡，其特征在于，来自内部通道的冷却空气被导向贯穿印刷电路板的开口。

8.一种探针卡，通常被安装成垂直于加热的受测装置并在加热的受测装置上方以在测试过程中减少对探针卡的热传递，所述探针卡包括：

a) 印刷电路板，其被安装成与受测装置大致垂直对准，其中，印刷电路板包括贯穿印刷电路板的多个开口，其用于促进冷却空气流动，以便冷却探针卡，

b) 尖端组件，其包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端，

c) 在电路板的相对端上的多个电触点，和

d) 电路板上的导电图形，其用于将电路板一端上的探针尖端电连接到电路板相对端上的电触点。

9.如权利要求8所述的探针卡，还包括紧固件，其用于接合受测装置上方的支承件，其中，支承件包括用于冷却空气流动的内部通道和开口。

10.如权利要求9所述的探针卡，其特征在于，支承件中的开口将冷却空气流导向贯穿印刷电路板的开口。

11.如权利要求9或10所述的探针卡，其特征在于，支承件中的开口是成角度的。