[发明专利]在活塞表面制备复合薄膜技术无效
| 申请号： | 201210550953.6 | 申请日： | 2012-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN103866252A | 公开（公告）日： | 2014-06-18 |
| 发明（设计）人： | 张俊彦;张斌;强力 | 申请（专利权）人： | 中国科学院兰州化学物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;B32B15/04;B32B9/04 |
| 代理公司： | 兰州中科华西专利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方晓佳 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 活塞 表面 制备 复合 薄膜 技术 | ||
【权利要求书】：
1.一种在活塞表面制备复合薄膜技术，其特征在于具体步骤为：
1）超声波清洗线清洗和脱水、烘干活塞；
2） 抽至预定真空度，充入氩气，偏压600-1000V等离子处理时间5~10min；
3）打开溅射靶1、3，电流6-14A，偏压200-400V，磁控溅射沉积CrAl金属层；
4） 充入氮气，氮气和氩气流量比为15-40%，保持电流不变，偏压200-400V，磁控溅射沉积CrAlN金属层厚度1-3微米；
5）关闭上述溅射靶、打开金属靶2、4，靶电流控制在8～16A，甲烷流量以10sccm/min的增长速率，增加到200sccm，通过逐渐增加甲烷流量来控制成分变化，样品上施加600~1000V的负偏压，处理时间为90min，自然冷却，最后在碳素钢、不锈钢、硬质合金表面获得多层梯度类金刚石纳米复合涂层。
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