[发明专利]一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统

权利要求书

1.一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，该系统包括CO₂激光器（1）、偏振转换组件（3）、激光放大器（5）以及极紫外光产生与收集装置，其特征在于：

所述CO₂激光器（1）用于产生线偏振的主振激光束，所述偏振转换组件（3）用于将该主振激光束转换为圆偏振激光，该圆偏振激光经由所述激光放大器（5）予以功率放大处理后，输出至极紫外光产生与收集装置；

所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器（5）的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。

2.一种基于圆偏振激光驱动的极紫外光刻光源产生系统，该系统包括圆偏振CO2激光器（1）、激光放大器（3）以及极紫外光产生与收集装置，其特征在于：

所述圆偏振CO2激光器（1）产生圆偏振的主振激光束，该圆偏振激光经由所述激光放大器（3）予以功率放大处理后，输出至极紫外光产生与收集装置；

所述极紫外光产生与收集装置用于将来自所述功率放大器（3）的激光聚焦照射至Sn靶材处以激发等离子体，并对该等离子体所产生的极紫外辐射予以收集。

3.如权利要求1或2所述的极紫外光刻光源产生系统，其特征在于，所述CO₂激光器（1）为脉宽30ns、输出波长为10.6μm的射频机理波导CO₂激光器。

4.如权利要求3所述的极紫外光刻光源产生系统，其特征在于，所述主振激光束的重复频率被设定为10KHz，脉冲能量为100mJ，脉冲宽度为50ns。

5.如权利要求1所述的极紫外光刻光源产生系统，其特征在于，所述偏振转换组件（3）为原偏振片。

6.如权利要求1-5任意一项所述的极紫外光刻光源产生系统，其特征在于，所述激光放大器（5）譬如由2台连续输出功率为4000W的工业级射频轴快流激光器共同组成。

7.如权利要求1-6任意一项所述的极紫外光刻光源产生系统，其特征在于，所述极紫外光产生与收集装置包括内部为真空腔（12）的壳体（11），设置在壳体（11）一侧用于供来自激光放大器的激光束进入的入射窗口（7）、设置在真空腔（12）中并处于激光束入射方向上的聚焦透镜（8）、设置在真空腔中的多个Sn靶材（9），以及同样设置在真空腔中并呈球面镜形式的极紫外光收集单元（10）。