[发明专利]新型串联式线圈电磁能量采集器

权利要求书

1.一种采用微纳加工技术来制备电磁式能量采集器的方法，其特征在于按顺序包括以下步骤：

（A）任选的处理基底；

（B）电镀Cu线圈；

（C）电镀Cu支撑柱；

（D）电镀Cu振动板与折形梁；

（E）电镀永磁体阵列；

（F）去胶，去种子层切割得到电磁式能量采集器。

2.根据权利要求1所述的电磁式能量采集器的制备方法，其中步骤（A）包括在洁净的晶片上双面氧化氧化硅，厚度为100-500nm。

3.根据权利要求1所述的电磁式能量采集器的制备方法，其中步骤（B）包括：

（B1）溅射Ti/Cu种子层，Ti层厚度为10-50nm，Cu层厚度为100-500nm；

（B2）厚胶光刻出线圈图形，厚度为5-15μm;

（B3）配制Cu电镀液；

（B4）调整电镀参数进行Cu线圈的电镀。

4.根据权利要求1所述的电磁式能量采集器的制备方法，其中步骤（C）包括：

（C1）对准光刻出支撑柱图形，厚度为5-15μm；

（C2）调整电镀参数进行Cu支撑柱的电镀。

5.根据权利要求1所述的电磁式能量采集器的制备方法，其中步骤（D）包括：

（D1）溅射Ti/Cu种子层，Ti层厚度为10-50nm，Cu层厚度为100-500nm；

（D2）对准光刻出振动板与折形梁图形，厚度为5-15μm；

（D2）调整电镀参数进行Cu振动板与折形梁的电镀。

6.根据权利要求1所述的电磁式能量采集器的制备方法，其中步骤（E）包括:

（E1）对准光刻出永磁体阵列图形，厚度为5-15μm；

（E2）调整电镀参数进行永磁体阵列的电镀。

7.根据权利要求3-5之一所述的电磁式能量采集器的制备方法，电镀Cu的参数设置包括电流密度、脉冲频率、占空比、电镀时间。

8.根据权利要求1-6之一所述的电磁式能量采集器的制备方法，电镀永磁体的装置包括两块置于电镀液两侧的磁铁块；永磁体成分为CoNiMnP合金，电镀液配方为：CoCl₂·6H2O：24g/L，NiCl₂·6H₂O：24g/L，MnSO₄·H₂O：3.4g/L，NaH₂PO₂：4.4g/L，H₃BO₃：25g/L，NaCl：24g/L，C₁₂H₂₅O₄NaS：0.3g/L，糖精：0.9g/L。

9.根据权利要求1-6之一所述的电磁式能量采集器的制备方法，永磁体与Cu线圈的摆放位置为垂直重合，以便于线圈能够有效切割磁场。

10.一种电磁式能量采集器，其特征在于采用权利要求1-9之一所述的方法制备得到。

11.一种权利要求10所述的电磁式能量采集器的用途，其特征在于针对环境中普遍存在的低频振动进行有效的采集和储存，作为物联网的能量来源。