[发明专利]一种高温环境下双波长剪切干涉测量物体表面曲率的方法有效
申请号: | 201210552766.1 | 申请日: | 2012-12-18 |
公开(公告)号: | CN103063156A | 公开(公告)日: | 2013-04-24 |
发明(设计)人: | 冯雪;张长兴;董雪林 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 邸更岩 |
地址: | 100084 北京市海淀区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高温 环境 波长 剪切 干涉 测量 物体 表面 曲率 方法 | ||
1.一种高温环境下双波长剪切干涉测量物体表面曲率的方法,其特征在于,所述方法采用双波长剪切干涉曲率测量系统,所述双波长剪切干涉曲率测量系统,包括:双波长偏振激光器、扩束系统、分光镜、偏振分光棱镜、第一光栅、第二光栅、第三光栅、第四光栅、第一凸透镜、第二凸透镜、第一过滤屏、第二过滤屏、第一成像屏、第二成像屏、第一CCD相机、第二CCD相机、数据处理及显示系统;
所述双波长偏振激光器(3)发出一束含两个波长且振动方向相互垂直的偏振激光,该激光经过扩束系统(4)扩束后经过分光镜(5)反射到试件(2)表面,试件放置在受热环境中,激光经过试件表面反射后透过分光镜(5)传播,通过分光棱镜(6)将振动方向不同的两个波长偏振激光分开传播,透过分光棱镜传播的激光频率为f1,频率为f1的激光经过第一光栅(7)和第二光栅(8)剪切干涉形成干涉条纹,透过第一凸透镜(11)后通过第一过滤屏(13)在第一成像屏(15)上成像,用第一CCD相机(17)拍摄记录第一成像屏上包含试件表面形貌信息的干涉条纹;通过分光棱镜(6)反射传播的激光频率为f2,f2部分激光经过第三光栅(9)和第四光栅(10)剪切干涉形成干涉条纹,透过第二凸透镜(12)后通过第二过滤屏(14)在第二成像屏(16)上成像,用第二CCD相机(18)拍摄记录第二成像屏上包含试件表面形貌信息的干涉条纹,第一CCD相机和第二CCD相机拍摄记录的信息传入到数据处理及显示系统(19)进行处理,并最终得到并显示试件在高温受热情况下的表面曲率分布;
曲率κxx、κyy、κxy计算关系式如下:
其中κxx、κyy、κxy为试件表面曲率,x方向为水平方向,y为竖直方向,g(λ1)、g(λ2)分别为频率f1、f2激光的空气折射率,分别为光栅方向沿水平方向f1、f2激光水平方向剪切干涉+1级干涉条纹的条纹数,分别为光栅方向沿竖直方向f1、f2激光竖直方向剪切干涉+1级干涉条纹的条纹数,p为光栅密度常数,Δ为相邻两光栅之间距离。
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