[发明专利]包括集成至少一个衍射光栅的封装的红外检测器

权利要求书

1.一种红外检测器，包括：

●敏感网膜，能够检测8和14微米之间的波长范围中的辐射；以及

●封装，包含所述敏感网膜并且包括与所述网膜相对的窗口，所述窗口包括在2和14微米之间的波长范围中至少部分透明的基板；

●光学滤波器集合，在所述窗口上形成以衰减在2和8微米之间的波长范围中的、所述网膜上的入射辐射，

其特征在于所述光学滤波器集合由如下部件形成：

●光学滤波器，在所述窗口的第一表面上形成并且衰减在2和8微米之间的波长范围的第一区间中的入射辐射；以及

●周期衍射光栅，在所述窗口的第二表面上形成并且衰减在2和8微米之间的波长范围的与所述第一区间不同的第二区间中的入射辐射。

2.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述周期光栅在所述窗口的最接近所述网膜的表面上形成。

3.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述光栅的周期的范围在所述第二区间的上限除以所述窗口基板的光学折射率的1.1和1.4倍之间。

4.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述光栅的周期大致等于所述第二区间的上限除以所述窗口基板的光学折射率的1.25倍。

5.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述光栅以所述窗口的厚度形成并且具有厚度范围在1微米和2微米之间的图案。

6.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述光栅具有范围在40％和55％之间的填充因子。

7.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，在所述窗口的第一表面上形成的滤波器是多层干涉滤波器。

8.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，在所述窗口的第一表面上形成的滤波器是衍射光栅。

9.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述第二区间的上限大于或等于所述第一区间的上限。

10.根据权利要求9所述的红外检测器，其特征在于，

●在所述窗口的第一表面上形成的滤波器能够衰减至少在2和5微米之间的波长范围中的入射辐射；以及

●所述周期光栅能够衰减至少在5和8微米之间的波长范围中的入射辐射。

11.根据权利要求9所述的红外检测器，其特征在于，在所述窗口的第一表面上形成的滤波器的行为基本上如同8和14微米之间的波长范围上的高通滤波器。

12.根据权利要求11所述的红外检测器，其特征在于，所述高通滤波器的导通波长与所述窗口基板的光学折射率的比的范围在所述周期图案光栅的间距值的1和1.5倍之间。

13.根据权利要求12所述的红外检测器，其特征在于，所述高通滤波器的导通波长与所述窗口基板的光学折射率的比基本上等于所述的光栅的间距。

14.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述周期光栅包括根据阿基米德拼砌或彭罗斯拼砌布置的图案。

15.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述窗口由矿物基板制成。

16.根据权利要求15所述的红外检测器，其特征在于，所述窗口由硅或锗制成。

17.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述窗口是通过如下基板的锯切形成：在所述基板的至少一个表面上共同形成多个光栅。

18.根据权利要求1所述的红外检测器，其特征在于，所述网膜是测辐射热膜的二维组件。