[发明专利]一种腔室气流控制系统及方法

权利要求书

1.一种腔室气流控制系统，其特征是，该系统包括：

至少一个腔室控制单元，用于根据PCC控制器的控制指令对腔室的气体压力进行控制，所述腔室控制单元之间通过网线串联；

和所述腔室控制单元连接的PCC控制器，用于接收所述腔室的数据并向所述腔室控制单元发送控制指令。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征是，所述腔室控制单元包括：

压力传感器，用于测量腔室内外的气体压力差值，并将所述气体压力差值发送给数据处理单元；

风机过滤器，用于根据所述控制指令控制所述风机过滤器的风扇的转速；

和所述风机过滤器连接的状态检测单元，用于检测并发送所述风机过滤器的风扇的转速数据给数据处理单元；

与所述压力传感器、风机过滤器和状态检测单元连接的数据处理单元，用于对接收的数据进行预处理并发送给数据传输单元；

和所述数据处理单元连接的数据传输单元，用于将所述数据处理单元输出的数据和其他数据传输单元发来的数据发送给PCC控制器或与该数据传输单元连接的下一个数据传输单元。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征是，所述PCC控制器和串联在一起的腔室控制单元的首端的腔室控制单元或尾端的腔室控制单元连接。

4.根据权利要求2所述的系统，其特征是，所述压力传感器为Setra 265差压传感器。

5.根据权利要求1所述的系统，其特征是，所述PCC控制器为贝加莱PCC可编程计算机控制器。

6.根据权利要求2所述的系统，其特征是，所述状态检测单元为CS1030通讯模块。

7.一种利用权利要求1-6任意之一所述的系统实现的腔室气流控制方法，其特征是，该方法包括以下步骤：

S1：所述压力传感器采集腔室内外的气体压力差值并将所述气体压力差值发送给所述数据处理单元；

S2：所述状态检测单元采集所述风机过滤器的风扇转速数据，并将所述风扇转速数据发送给所述数据处理单元；

S3：所述数据处理单元对接收的所述气体压力差值和所述风扇转速数据进行预处理，将经过预处理后的数据发送给所述数据传输单元；

S4：所述数据传输单元将所述数据处理单元发送的数据和其他数据传输单元发来的数据发送给与所述数据传输单元连接的下一个数据传输单元；当所述数据传输单元所在的腔室控制单元是串联在一起的腔室控制单元的首端的腔室控制单元或尾端的腔室控制单元时，所述数据传输单元将所述数据处理单元发送的数据和其他数据传输单元发来的数据发送给所述PCC控制器；

S5：所述PCC控制器对接收的数据进行处理得到控制指令，将所述控制指令通过所述数据传输单元和所述数据处理单元发送给所述风机过滤器，控制所述风机过滤器的风扇的转速。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征是，所述压力传感器采集腔室内外的气体压力差值的周期为500毫秒。

9.根据权利要求7所述的方法，其特征是，所述PCC控制器对接收的数据进行处理得到控制指令具体为：

所述PCC控制器接收所述气体压力差值，当所述气体压力差值和腔室压力设定值的差值大于0.062Pa时，所述PCC控制器根据所述差值和所述风扇转速数据向所述风机过滤器发出控制指令。