[发明专利]纳米压印平版印刷设备和方法

权利要求书

1.一种纳米压印平版印刷设备，包括：

印模，所述印模包括主体，所述主体具有第一表面和第二表面，所述第一表面具有要在衬底上压印的图案，并且所述第二表面具有至少一个极子和至少一个致动器，所述至少一个致动器被配置为向所述至少一个极子施加力，以将所述主体变形；

固定级，所述固定级被配置为支撑被从所述印模转印图案的所述衬底；以及

控制器，所述控制器被配置为驱动所述至少一个致动器以向所述至少一个极子施加力以将所述印模变形，并且校正所述印模和所述衬底之间的对齐误差。

2.根据权利要求1所述的纳米压印平版印刷设备，其中，所述主体和所述至少一个极子包括透光材料。

3.根据权利要求1所述的纳米压印平版印刷设备，其中，所述至少一个致动器是气动型致动器、液压型致动器、电机驱动型致动器和压电元件中的至少一个。

4.根据权利要求1所述的纳米压印平版印刷设备，其中，所述控制器被配置为控制所述至少一个致动器，以产生所述印模的变形水平，以校正所述印模和所述衬底之间的对齐误差。

5.一种纳米压印平版印刷方法，所述方法包括：

加载印模和衬底；

执行第一对齐以调整所述印模和所述衬底的相对位置；

通过向在所述印模的主体上设置的至少一个极子施加力以便将所述印模变形来执行第二对齐以校正所述印模和所述衬底之间的对齐误差；

对于已经被完成所述第一对齐和所述第二对齐的所述衬底执行至少一个主处理；以及

卸载所述印模和已经被完成所述主处理的所述衬底。

6.根据权利要求5所述的纳米压印平版印刷方法，其中，通过向连接到所述至少一个极子的至少一个致动器施加力，在所述主体上设置的图案的变形与所述主体的变形同时发生。

7.根据权利要求5所述的纳米压印平版印刷方法，其中，所述对齐误差是由所述印模的一部分和所述衬底的对应部分之间在大小和形状上的不重合引起的局部误差。

8.根据权利要求5所述的纳米压印平版印刷方法，其中，所述对齐误差是由所述印模和所述衬底之间在总的大小上的不重合引起的尺度误差。

9.根据权利要求5所述的纳米压印平版印刷方法，其中，所述主处理的执行包括：

向所述衬底的表面施加抗蚀剂；

通过在所述印模与所述抗蚀剂的接触后向所述印模施加压力来将在所述印模上形成的图案转印到在所述衬底的表面上的所述抗蚀剂；

将所述抗蚀剂硬化；以及

将所硬化的抗蚀剂从所述衬底分离。

10.根据权利要求1所述的纳米压印平版印刷设备，其中，所述至少一个致动器能够从所述至少一个极子分离。

11.一种纳米压印平版印刷设备，包括：

印模，所述印模包括至少一个极子和至少一个致动器，所述至少一个极子连接到所述至少一个致动器，并且，所述印模包括要在衬底上压印的图案；以及

控制器，所述控制器被配置为驱动连接到所述至少一个极子的所述至少一个致动器，以将所述印模变形，并且校正所述印模和所述衬底之间的对齐误差。

12.根据权利要求11所述的设备，进一步包括：

固定级，所述固定级包括所述印模和所述衬底之一；以及

可移动级，所述可移动级包括所述印模和所述衬底中的另一个。

13.根据权利要求12所述的设备，其中，所述可移动级连接到至少一个位置调整单元，所述至少一个位置调整单元被配置为响应于由所述控制器产生的至少一个控制信号来调整所述印模和所述衬底的相对位置。

14.根据权利要求11所述的设备，其中，所述至少一个极子包括贯穿所述印模均匀地分布的多个极子，并且所述至少一个致动器包括多个致动器，所述多个致动器中的每个连接到所述多个极子中的对应的一个。

15.根据权利要求14所述的设备，其中，所述控制器被配置为驱动连接到所述多个极子的所述多个致动器，以将所述印模的仅一部分变形以校正所述对齐误差。

16.根据权利要求15所述的设备，其中，通过膨胀和收缩中的至少一个来将所述印模的一部分变形。