[发明专利]准分子激光器复合腔

权利要求书

1.一种准分子激光器复合腔，包括激光放电腔和激光输出模块，所述激光放电腔内包含有工作气体，该工作气体在激励源作用下能产生激光，其特征在于，还包括线宽压窄模块和激光放大模块，其中，

所述激光放电腔、激光输出模块和线宽压窄模块构成一个线宽压窄腔，用于对所述工作气体产生的激光进行线宽压窄；

所述激光放电腔、激光输出模块和激光放大模块构成一个放大腔，用于对所述经线宽压窄后的激光进行能量放大；以及

所述激光输出模块用于将经线宽压窄且能量放大的激光进行输出。

2.如权利要求1所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述激光输出模块为一个输出耦合镜(2)，所述激光放电腔(1)具有两端，所述输出耦合镜(2)设置于所述激光放电腔(1)的一端，所述线宽压窄模块和激光放大模块设置于所述激光放电腔(1)的另一端。

3.如权利要求2所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述线宽压窄模块包括单个棱镜(3)或棱镜组，还包括光栅(5)，

所述单个棱镜(3)或棱镜组用于接收由激光放电腔(1)发出的激光，将该激光部分反射至所述放大腔，且对该激光的剩余部分进行折射与扩束后出射到所述光栅(5)；

所述光栅(5)用于以其闪耀角为入射角接收从单个棱镜(3)或棱镜组扩束后出射的激光，使入射到其表面上的激光发生色散效应，并使满足光栅闪耀条件的波长的激光按原路反射回去。

4.如权利要求3所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述激光放大模块为反射镜(4)，用于接收由所述单个棱镜(3)或棱镜组部分反射的激光，并将其原路反射回所述激光放电腔(1)中。

5.如权利要求4所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，当所述线宽压窄模块包括单个棱镜(3)时，该棱镜(3)的入射面对于由所述激光放电腔发出的激光的反射率4.8％～24％。

6.如权利要求4所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，当所述线宽压窄模块包括棱镜组时，该棱镜组包括依次在光路上排列的多个棱镜，其中，用于接收由所述激光放电腔(1)发射的激光的第一个棱镜将该激光部分反射至所述放大腔。

7.如权利要求6所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述第一个棱镜的入射面对于由所述激光放电腔发出的激光的反射率4.8％～24％。

8.如权利要求3所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述放大腔还包括标准具(6)，其用于对入射其上的激光进行线宽压窄并透射具有特定中心波长的激光。

9.如权利要求8所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述标准具(6)用于直接接收由单个棱镜(3)或棱镜组部分反射的激光，并将透射过的激光入射到所述反射镜(4)上。

10.如权利要求9所述的准分子激光器复合腔，其特征在于，所述标准具(6)所透射的激光的光谱线的线宽与所述复合腔的线宽相同。