[发明专利]传感器器件及其制造方法、传感器模块、机器人

权利要求书

1.一种传感器器件，其特征在于，具备：

第一部件，其具有凹部；

传感器元件，其配置于所述凹部，并具有压电体；以及

第二部件，其与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第一部件具有供所述第二部件接合的接合面，

所述接触面与所述接合面不位于同一平面。

2.根据权利要求1所述的传感器器件，其特征在于，

所述第二部件具有：

第一面，其与所述传感器元件的所述接触面接触；以及

第二面，其与所述第一部件的所述接合面接合。

3.根据权利要求1或2所述的传感器器件，其特征在于，

在将所述接触面的法线方向设为γ轴方向，与所述γ轴方向正交且相互正交的方向分别设为α轴方向、β轴方向的情况下，

所述传感器元件具备检测所述α轴方向上的力的第一传感器元件、检测所述β轴方向上的力的第二传感器元件、以及检测所述γ轴方向上的力的第三传感器元件的任意一个以上。

4.一种传感器模块，其特征在于，具备：

传感器器件，该传感器器件具备第一部件、传感器元件以及第二部件，其中，所述第一部件具有凹部，所述传感器元件配置于所述凹部并具有压电体，所述第二部件与所述第一部件接合并对所述第一部件的所述凹部进行密封；

第一板，该第一板与所述第一部件接触；

第二板，该第二板与所述第二部件接触；以及

紧固部，该紧固部对所述第一板以及所述第二板进行紧固，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第一部件具有供所述第二部件接合的接合面，

所述接触面与所述接合面不位于同一平面。

5.一种传感器模块，其特征在于，具备：

第一部件，该第一部件具有凹部；

传感器元件，该传感器元件配置于所述凹部，并具有压电体；

第二部件，该第二部件与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封；以及

电子电路，该电子电路与所述传感器元件电连接，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第一部件具有供所述第二部件接合的接合面，

所述接触面与所述接合面不位于同一平面。

6.一种机器人，其特征在于，具备：

主体部；

臂部，该臂部与所述主体部连接；以及

手部，该手部与所述臂部连接，

在所述臂部与所述手部的连接部具有传感器器件，

所述传感器器件具备：

第一部件，该第一部件具有凹部；

传感器元件，该传感器元件配置于所述凹部，并具有压电体；以及

第二部件，该第二部件与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第一部件具有供所述第二部件接合的接合面，

所述接触面与所述接合面不位于同一平面。

7.一种传感器器件的制造方法，其特征在于，

所述传感器器件具备：

第一部件，该第一部件具有凹部；

传感器元件，该传感器元件配置于所述凹部，并具有压电体；以及

第二部件，该第二部件与所述第一部件接合，并对所述第一部件的所述凹部进行密封，

所述传感器元件具有与所述第二部件接触的接触面，

所述第一部件具有供所述第二部件接合的接合面，

在所述传感器器件的制造方法中，

以覆盖收容有所述传感器元件的所述第一部件的所述凹部的方式载置所述第二部件，

通过第一加载机构所具备的的按压面来按压所述第二部件，其中，所述按压面的外缘配置在所述凹部的开口内、且位于所述接触面的区域外，

使所述第二部件与所述第一部件接合。

8.根据权利要求7所述的传感器器件的制造方法，其特征在于，

通过所述第一加载机构的所述按压面将所述第二部件按压于所述传感器元件，

通过第二加载机构将所述第二部件按压于所述第一部件，

在所述第二部件形成：

第一面，该第一面与所述传感器元件的所述接触面接触；以及

第二面，该第二面与所述第一部件的所述接合面接触，

将所述第一部件与所述第二部件接合。