[发明专利]在常温下检测气体的基于柔性衬底的敏感膜的制备方法

权利要求书

1.一种制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，包括：

选取一柔性衬底，并清洗该柔性衬底；

在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶，对该光刻胶进行光刻显影，在该柔性衬底表面形成电极图形；

在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au；

剥离该柔性衬底上的光刻胶及光刻胶上沉积的Cr和Au，形成Au电极；以及

在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO₂-PDDAC敏感膜。

2.根据权利要求1所述的制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，所述柔性衬底是PI或PET衬底。

3.根据权利要求1所述的制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，所述在该柔性衬底表面涂敷一层光刻胶的步骤中，所述光刻胶为9920正胶。

4.根据权利要求1所述的制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，所述在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au的步骤中，是采用电子束蒸发技术在表面具有光刻胶及电极图形的柔性衬底上依次沉积Cr和Au。

5.根据权利要求1所述的制备基于柔性衬底的在常温下检测气体的敏感膜材料的方法，其特征在于，所述在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO₂-PDDAC敏感膜的步骤中，是采用滴涂、旋涂或丝网印刷的方法在已形成Au电极的该柔性衬底上沉积一层SnO₂-PDDAC敏感膜。