[发明专利]一种膜片式微型光声池及其应用

权利要求书

1.一种膜片式微型光声池，其特征是设置一筒体(6)，在所述筒体(6)的一端支撑有振动感应薄膜(1)，在筒体(6)的另一端插入光纤(4)，形成一筒状光声腔；在所述筒体(6)的侧壁上设置有气流通孔(5)；通过光纤(4)同时传输检测光和由声频信号调制的激发光。

2.根据权利要求1所述的膜片式微型光声池，其特征是：所述气流通孔(5)在所述筒体(6)侧壁上是以进气孔和出气孔成对设置。

3.根据权利要求1所述的膜片式微型光声池，其特征是：所述振动感应薄膜(1)为平面膜或具有中心反射平面(7)的圆环状波纹膜，所述振动感应薄膜(1)的厚度为100-500nm。

4.根据权利要求1所述的膜片式微型光声池，其特征是：所述检测光为近红外光，所述振动感应薄膜(1)对于近红外光具有反射特性。

5.根据权利要求1所述的膜片式微型光声池，其特征是：所述光纤(4)在位于光声腔中的端面为倾角大于8°的斜面。

6.一种利用权利要求1所述膜片式微型光声池进行气体浓度检测的方法，其特征是：

待测气体通过气流通孔(5)进入光声腔内，通过光纤(4)向光声腔内导入由声频信号调制的具有设定波长的激发光；同时，利用由光纤(4)传输的检测光检测获得所述振动感应薄膜(1)的光声振动信号，依据所述光声振动信号的强度得出被测气体浓度。