[发明专利]微机械科氏转速传感器

权利要求书

1.一种用于检测转速的微机械科氏转速传感器，其包括：

基底；

测量轴线(X轴)、检测轴线(Y轴)以及驱动轴线(Z轴)，每个轴线相对彼此正交地安置；

在平行于所述基底的X-Y平面内安置的第一和第二驱动模块(2)，每个驱动模块(2)借助于中央悬架能够旋转地连接至所述基底，沿Y轴安置两个中央悬架；

用于在每个中央悬架处产生所述驱动模块(2)绕驱动轴线(Z)的旋转振荡的驱动器具，

其特征在于

至少一个弹性连接元件(5)在Y轴两侧并与其隔开地设置在每个所述驱动模块(2)上，所述连接元件用于连接所述两个驱动模块(2)并在所述转速传感器受到冲击的情况下使得所述两个驱动模块同相而不是反相地偏转。

2.如前一权利要求所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接元件(5)连接在所述第一和第二驱动模块(2)的沿X轴方向的最外端处。

3.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接元件(5)包括悬臂以及弹性连接弹簧(6″′)。

4.如权利要求3所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接弹簧(6″′)伸进所述第一和第二驱动模块(2)之间的中间空间。

5.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接元件(5)在所述第一和第二驱动模块(2)之间安置。

6.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接元件(5)为借助于弹簧(6″′)与所述第一和第二驱动模块(2)相连的第一模块(14)。

7.如权利要求6所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述第一模块(14)以框架的形状包围第二模块(15)，并且借助于连接弹簧(16)与所述第二模块相连。

8.如权利要求7所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述弹性连接元件(5)借助于锚固件能够绕X轴旋转地连接至所述基底。

9.如权利要求6所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述基底与所述第一和第二驱动模块(2)和/或所述第一模块(14)和/或所述第二模块(15)之间安置有检测元件(8)。

10.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述第一和第二驱动模块(2)上安置有驱动元件(7)。

11.如权利要求10所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，反馈元件(12)与所述驱动元件(7)关联。

12.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述第一和第二驱动模块(2)借助于多个锚固弹簧(4)在所述中央悬架上安置。

13.如权利要求6所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述第一和第二驱动模块(2)和/或所述第一模块(14)和/或所述第二模块(15)之间安置有用于限制所述模块(2、14、15)移位能力的止挡件(19、20)。

14.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述中央悬架与所述驱动模块(2)之间安置有止挡件(21)。

15.如权利要求1或2所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述基底和/或所述第一和第二驱动模块(2)和/或所述连接弹簧(4)之间安置有止挡件(13)。

16.如权利要求7所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述第二模块(15)借助于锚固件能够绕X轴旋转地连接至所述基底。