[发明专利]力电热多场耦合作用下微电子产品可靠性测试平台

权利要求书

1.一种力电热多场耦合作用下微电子产品可靠性测试平台，其特征在于：所述测试平台工作温度范围为-50～200℃，升温速度10～50℃/分钟，降温速度10～50℃/分钟，温度循环周期15～120分钟，测试电流密度为1×10³～9.9×10⁴A/cm²；该测试平台包括实验箱(1)、控制柜(2)、温度控制系统(3)、加热器(8)、冷却系统(7)、信号测试及采集系统(5)、电流加载系统(4)和样品支持系统(13)；温度控制系统(3)、信号测试及采集系统(5)、电流加载系统(4)和冷却系统(7)设置于控制柜(2)内；其中：

所述加热器(8)设置于实验箱(1)内部下侧，所述冷却系统(7)经制冷管道(9)接入实验箱(1)内部，所述温度控制系统(3)与所述加热器(8)和冷却系统(7)相连接，用于根据预先设定的温度值控制所述加热器(8)及冷却系统(7)的工作状态；

所述样品支持系统(13)置于实验箱(1)内部，包括样品托架和测试板，测试板包括母板(15)和子板；所述母板(15)插接固定于样品托架上的专用接口(18)内，母板(15)上设置若干插槽(19)，子板分别插接于母板(15)上的各个插槽(19)内，测试样品与子板电连接；所述样品托架包括底板(14)、热管(16)、散热片(17)和专用接口(18)；样品托架底板(14)采用不锈钢或石英玻璃制成，底板(14)上设有热管(16)和散热片(17)用于对测试样品散热，底板(14)一面上的一侧设置专用接口(18)；

所述电流加载系统(4)通过测试板上的子板与测试样品电连接，用于对待测微电子产品施加电流载荷；

所述信号测试及采集系统(5)通过测试板上的子板与测试样品电连接，用于测试和采集待测微电子产品的电流、电压、电阻和温度信号，采用多通道数字采集方式进行数据测量及存储，存储的数据传输到计算机中存储以待后续分析和处理，且可根据阻抗变化实现样品失效报警。

2.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于：所述实验箱(1)内部上侧安装温度传感器(6)，温度传感器(6)与所述温度控制系统(3)相连，用于将测得的实验箱(1)内部的温度传递给所述温度控制系统(3)。

3.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于：所述实验箱(1)包括箱体外壳、保温层、支架(20)以及能够打开和关闭的箱门，保温层在外壳内侧用于维持实验箱(1)内部温度，支架(20)置于实验箱(1)中部用于放置样品支持系统(13)，箱门上设置透明观察窗(10)。

4.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于：所述实验箱(1)侧壁设置信号转接板(12)，测试时输入的电流载荷和输出的测试信号均经由信号转接板(12)转接，并通过导线接入控制柜(2)内的相应装置。

5.根据权利要求1所述的测试平台，其特征在于：所述实验箱(1)内顶部设置风机(11)，用于循环实验箱(1)内空气，保持实验箱(1)内温度的分布均衡。