[发明专利]交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器

权利要求书

1.一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于包括信号输入端（1）、第一信号输出端（2）、第二信号输出端（3）、基板（4）、上行传输波导（5）、下行传输波导（8）、连接耦合波导（10）；上行传输波导（5）和下行传输波导（8）分别置于基板（4）的上部和下部，上行传输波导（5）包括不规则波导（6）和对称连接波导（7），对称连接波导（7）两端分别连接两个不规则波导（6），下行传输波导（8）包括非对称连接耦合波导（9）和与非对称连接耦合波导（9）连接的不规则波导（6），连接耦合波导（10）置于上行传输波导（5）和下行传输波导（8）之间，连接耦合波导（10）包括四个交叉F形连接耦合波导（11），四个交叉F形连接耦合波导（11）对称排列在以对称连接波导（7）的中心为对称轴的两端，信号从信号输入端（1）输入，分束波分别从第一信号输出端（2），第二信号输出端（3）输出。

2.根据权利要求1所述的一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的基板（4）的长度为2000μm~2500μm，宽度为650μm~800μm，厚度为100μm~150μm。

3.根据权利要求1所述的一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的不规则波导（6）由矩形波导和直角三角形波导组成，矩形波导的长度为180μm~250μm，宽度为100μm~150μm，厚度为40μm~60μm，直角三角形波导的底边边长为60μm~80μm，高度为100μm~150μm。

4.根据权利要求1所述的一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的对称连接波导（7）的波导长度为1500μm~1850μm，宽度为50μm~80μm，厚度为40μm~60μm。

5.根据权利要求1所述的一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的非对称连接耦合波导（9）的长度为1300μm~1600μm，宽度为50μm~80μm，厚度为40μm~60μm。

6.根据权利要求1所述的一种交叉F形结构的太赫兹波偏振分束器，其特征在于所述的交叉F形连接耦合波导（11）是由大小相等的正F形波导和倒F形波导交叉组成，F形波导的波导线宽度为15μm~20μm，波导的总高度为50μm~100μm，波导的总宽度为30μm~80μm。