[发明专利]物品保管设备以及物品保管方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种物品保管设备以及利用这种物品保管设备的物品保管方法，该物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，以及控制上述运送装置的动作的控制装置。

背景技术

在日本国特开2010-182747号公报（专利文献1）中公开了上述这种物品保管设备的一例。装备在专利文献1的物品保管设备上的带洁净功能的物品保管架具备多个收纳收容半导体晶片的FOUP等运送容器的收纳部，通过惰性气体供给路径向该收纳部的每一个供给例如氮气或氩气等惰性气体，并通过排放部将该惰性气体向运送容器的内部排放。

在上述专利文献1中，在将运送容器收纳在收纳部中后，从排放部向运送容器的内部排放惰性气体，将不利于基板的氧气或水蒸气等从运送容器内排出，使收纳在收纳部中的运送容器为内部被惰性气体充满的状态。这样一来，抑制了产生收容在运送容器中的基板的氧化等不良情况。

但是，在上述专利文献1的物品保管设备中，即使在由于惰性气体供给路径的破损或设在惰性气体供给路径的中途的压力调整阀等仪器的故障，不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，运送容器收纳在该收纳部中的状态也继续。因此，在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于外气向运送容器内流入等而运送容器内的环境恶化，存在运送容器内的基板上产生不良情况的可能性。

发明内容

鉴于上述背景，希望实现即使在不再能够向收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，也能够将收纳在该收纳部中的运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然的物品保管设备。

本发明所涉及的物品保管设备具备：收纳收容基板的运送容器的多个收纳部，相对于上述多个收纳部运送上述运送容器的运送装置，向上述多个收纳部的每一个供给惰性气体的惰性气体供给路径，将由上述惰性气体供给路径供给到上述收纳部的惰性气体向收纳在该收纳部中的上述运送容器的内部排放的排放部，控制上述运送装置的动作的控制装置，以及检测惰性气体相对于上述多个收纳部的供给状态的供给状态检测装置，其中，上述控制装置构成为，基于上述供给状态检测装置的检测信息进行是否恰当地供给了惰性气体的判定的供给状态判定，区别出判定为未恰当地供给惰性气体的禁止收纳部和除此之外的许可收纳部，对上述多个收纳部进行管理，并且执行退避用运送处理，将收纳在因惰性气体的供给状态的变化而从上述许可收纳部切换成上述禁止收纳部的上述收纳部中的上述运送容器向被作为上述许可收纳部进行管理的上述收纳部运送。

根据上述结构，通过在将运送容器向收纳部收纳时选择许可收纳部，能够恰当地向收纳的运送容器内供给惰性气体。

而且，在因惰性气体供给路径的破损或设在惰性气体供给路径中途的压力调整阀等仪器的故障而发生了向收纳部供给的惰性气体比适当供给量减少的事态，或者惰性气体完全不向收纳部供给的事态的情况下，该收纳部从许可收纳部切换成禁止收纳部。并且收纳在切换成禁止收纳部的收纳部中的运送容器通过退避用运送处理的执行而向作为许可收纳部进行管理的其它收纳部运送。这样，即使不再能够相对于收纳部恰当地供给惰性气体的情况下，由于能够将收纳在该收纳部中的运送容器向许可收纳部运送，向该许可收纳部恰当地供给惰性气体，所以能够将该运送容器内的基板上产生不良情况的事态防患于未然。

本发明所涉及的物品保管设备的技术特征也能够适用于物品保管方法，本发明也能够将这种方法作为权利的对象。在该物品保管方法中，也能够得到上述物品保管设备所涉及的作用和效果。