[发明专利]制备氧化锆基NOx传感器的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种制备氧化锆基NOx传感器的制备方法。

背景技术

随着我国城镇化进程的加速，化石燃料消耗迅速增加，很多的有毒、有害的气体被释放到大气中污染环境，其中最典型的一类，就是NOx气体，它不仅会导致光化学烟雾以及酸雨、破坏臭氧层，还会对人类的呼吸系统产生副作用，出现脱发、喉咙发炎、视力受损、呼吸系统抵抗力下降等症状。因此氮氧化物减排被列为环境保护的要求之一。很多的毒理以及流行病学研究发现了NOx的副作用。NO₂以及NO气体（合称NOx）目前受到较大的关注。这种气体在一些道路特别是高人口密度的居住区的浓度较高，这就显得问题更加严重了。研究表明，75%的NOx气体是由汽车排放产生的，这其中大约一半是由非道路运输的车辆产生的，如工程机械、农业机械等，同时这些机械的寿命要远远大于道路运输车辆，对这些机械车辆降低NOx的排放就变得更加有效了。因此人们投入了很大的精力和财力来降低这种气体的产生并通过更为严厉的法规来限制这类气体的排放。例如美国2000年12月的法规规定了2007年及以后的载重车辆NOx的排放必须在0.20g/bhp。在日本，规定了NOx的排放标准在0.25g/km.欧洲也规定了类似的标准。我国在国四标准中也规定了NOx的排放标准。

NOx主要是在高温燃烧的过程中产生，空气中的N2气体和O₂气体反应得到了NOx气体，其中NOx气体在高温是主要的成分是NO，在室温时主要是NO₂气体，并且随着温度的升高，NO₂分解得到NO和O₂。在汽车行业中降低NOx的方法主要有两种，NOx气体捕获以及NOx还原。但是无论哪种方法，准确的测定NOx的浓度是首先要解决的问题。

NOx的测试方法有很多种，如共振电离光谱法、傅立叶转换红外光谱法、气相色谱/质谱法、化学发光分析等，这些方法可以很精确的测定NOx的浓度，但是也有很多的缺点，如不能在线测试，测试设备体积庞大等。这些缺点导致不能应用于汽车尾气的处理。

现在市场上的NOx传感器是基于氧化锆基的电化学电流测试方法，采用6层氧化锆基片叠层共烧而成，中间加入了加热体，测试电极、氧泵电极等。它首先通过降低汽车尾气中的O₂的含量，将尾气中O₂含量降到了很低的程度（10^-3ppm），NOx气体在测试电极表面分解成N2和O₂气体，通过测定O₂气体产生的电流强度，测试NOx的浓度。这种装置的优点在于可以在线测试NOx的浓度，体积小，安装方便。但是他的缺点也是很明显的，首先在NOx的浓度很低的时候，分解得到的O₂气体的浓度也很低，产生的电流就很小，在分析很小的电流的时候，后续处理电路的成本就增加了，在不增加电路成本的情况下，只有降低测试的灵敏度了，也就是说，这种装置很难测试较低的NOx浓度；其次制备工艺复杂，有很多的制备步骤，这些步骤中的任何一步失误的话都会导致前功尽弃。

本发明针对这种情况提出采用三个部件组装的方式制备NOx传感器的方法。

发明内容

为此，本发明提供一种制备氧化锆基NOx传感器的方法，所述方法包括：

(1)分别提供NOx传感单元、氧传感单元和加热体；

其中，所述NOx传感单元由NOx敏感层、参比气体通道层、氧化锆层组成，所述NOx敏感层包括NOx测试电极层、氧化锆层和参比电极（Pt）；

所述氧传感单元由氧敏感层、参比气体通道层和氧化锆层组成，所述氧敏感层包括氧测试电极层、氧化锆层和参比电极（Pt）；

所述加热体层包括绝缘层(或保护层，优选Al₂O₃保护层)、加热电极、氧化锆层、引脚孔和引脚；

(2)将所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体层叠共烧，制得氧化锆基NOx传感器；

其中，所述加热体位于NOx传感单元和氧传感单元之间；

所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体之间加入低温玻璃粉，在800～1200℃下进行低温共烧。

在本发明一个实施方式中，所述NOx测试电极层是Pt和ZrO₂的混合物(Pt+ZrO₂)。

在本发明一个实施方式中，所述氧测试电极层是Pt、Au和ZrO₂的混合物(Pt+Au+ZrO₂)。