[发明专利]一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法有效
| 申请号： | 201210566375.5 | 申请日： | 2012-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN103073048A | 公开（公告）日： | 2013-05-01 |
| 发明（设计）人： | 谈国强;杨薇;任慧君 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C01G9/02 | 分类号： | C01G9/02 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组装 技术 制备 图案 zno 薄膜 方法 | ||
1.一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：前驱液的配置：将Zn(NO3)2·6H2O和NH4F溶于蒸馏水中，配成Zn(NO3)2·6H2O浓度为0.05mol/L，NH4F浓度为0.2~0.3mol/L的混合液，调节混合液的pH值为5.5，室温下搅拌混合液至完全澄清，得到前驱液；
步骤二：基板的功能化：将基板洗涤干净，于体积浓度为1%的OTS-甲苯溶液中浸泡制备OTS-SAMs膜，将OTS-SAMs膜干燥去除有机物后于紫外光下照射，得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板；
步骤三：薄膜的沉积：将表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面，使功能化OTS-SAMs膜与前驱液接触，在70℃～80℃沉积制备出非晶态薄膜；
步骤四：薄膜的晶化：将制备的非晶态薄膜干燥后放入马弗炉中，于300℃保温退火120min得到晶化的图案化的ZnO薄膜。
2.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤一中采用浓度为4mol/L的HNO3溶液和浓度为3mol/L的NaOH溶液调节混合液pH值。
3.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤二中基板洗涤的具体操作为：将基板分别置于去离子水、丙酮、无水乙醇中超声洗涤10min。
4.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤二中基板于体积浓度为1%的OTS-甲苯溶液中浸泡的时间为30min，浸泡前先经过紫外光下照射20min。
5.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤二中OTS-SAMs膜在波长为184.9nm的紫外光下照射40min。
6.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤二中干燥的具体条件为在120℃干燥5min。
7.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤三中沉积时间为20h。
8.根据权利要求1所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤四中的干燥在室温下进行。
9.根据权利要求1-8中任意一项中所述的液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法，其特征在于：步骤二中OTS-SAMs膜在紫外光下照射时在OTS-SAMs膜上覆盖光掩膜。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西科技大学，未经陕西科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201210566375.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种用于天线支架焊接端部平整的压紧装置
- 下一篇：一种双面扫描仪
