[发明专利]用于制造显示装置的加热装置

说明书

相关申请的交叉引用

本申请要求于2012年6月20日提交的韩国专利申请第10-2012-0066405号的权益，在此通过援引将该专利申请的内容结合在此，就像在这里被全部阐述一样。

技术领域

本发明涉及用于制造显示装置的加热装置。

背景技术

有机发光二极管（OLED）、液晶显示器（LCD）、等离子显示面板（PDP）以及电泳显示器（EPD）等显示装置是通过各种工序制造的。这些工序可以包括在基板上沉积薄膜的沉积工序，以及根据预定图案去除薄膜的蚀刻工序。例如，可以通过无机或金属材料的蒸发工序在基板上沉积薄膜，来制造OLED。此处，韩国专利申请第P10-0670360号（日期为2007年1月16日）公开了用于此工序的设备。

图1是说明现有技术的沉积设备和用于该沉积设备的加热装置的截面侧视图。

参照图1，现有技术的沉积设备10包括处理室11和加热装置12，处理室11用于执行在基板100上形成薄膜的工序，加热装置12用于蒸发材料以形成薄膜。

加热装置12包括用于在其中容纳材料的容器121，以及用于对容器121中容纳的材料进行加热的加热件122。与容器121结合的加热件122覆盖容器121的外部。当对加热件122提供电力时，加热件122释放热量，从而对容器121中容纳的材料进行加热。于是，容器121中容纳的材料被蒸发，然后向基板100转移，从而在基板100上形成薄膜。加热件122以相当高的温度释放热量，以使得容器121中容纳的材料蒸发。例如，如果容器121中容纳的材料为无机或金属材料，则加热件122释放出具有高于大约1000°C温度的热量。

在现有技术的沉积设备10的情况下，沿水平方向（X轴方向）覆盖容器121的多个加热件122，沿垂直方向（Z轴方向）与容器121结合。因此，在释放高温热量的工序期间，加热件122由于重力而在向下方向（箭头A的方向）上发生变形，由此导致加热件122朝向下方向（箭头A的方向）移动。于是，由于加热件122在沉积设备10中的移动，导致加热件122与容器121结合的位置发生改变，使得难以均匀地对容器121中容纳的材料进行加热。在现有技术的沉积设备10中，用于修理或更换加热件122的周期很短。此外，在修理或更换加热件122的过程中，应该停止在基板100上沉积薄膜的工序，因此降低了制造显示装置的工序的生产率。

发明内容

本发明涉及制造显示装置的加热装置，该加热装置基本上避免了由于现有技术的局限和缺点而导致的一个或多个问题。

本发明的一方面是提供制造显示装置的加热装置，即使加热件由于热量而变形，也不使该加热装置损坏或毁坏。

将在随后的描述中部分地阐述本发明其它的优点和特征，并且这些优点和特征的一部分在本领域技术人员研习下文后，对于本领域技术人员而言将变得显而易见，或者可以从本发明的实践中获悉。通过在文字描述的说明书和它的权利要求书以及附图中具体指出的结构可以实现和获得本发明的目的和其它优点。

为了实现这些和其它优点并依照本发明的目的，如在此具体化和概括地描述的，提供了一种制造显示装置的加热装置，该加热装置包括：加热件，释放热量以加热材料，所述材料将要被沉积到准备用于制造显示装置的基板上；用于支撑所述加热件的第一安装装置，其中所述加热件的一端安装在所述第一安装装置中；以及在与所述第一安装装置相距预定距离处设置的第二安装装置，其中所述加热件的另一端安装在所述第二安装装置中，其中所述第二安装装置包括通孔，所述加热件的另一端穿过所述通孔，使得由于热量而变形的加热件相对于被所述第一安装装置支撑的部分而膨胀或收缩。

应理解本发明之前概括地描述和之后详细的描述是示例性和解释性的,并意图提供对要求保护的本发明的进一步的解释。

附图说明

被包括的附图提供对本发明的进一步理解，并且与本申请结合而构成本申请的一部分，附图图示本发明的实施例，并且与说明书文字一起用来解释本发明的原理。在附图中：

图1是图示现有技术的沉积设备和用于沉积设备的加热装置的截面侧视图；

图2是图示本发明的用于制造显示装置的加热装置的透视图；

图3是沿图2的I-I线的截面侧视图；

图4是用于解释当加热件的两端都被支撑时产生的问题的截面侧视图；

图5是图示本发明的用于制造显示装置的加热装置的分解透视图；