[发明专利]一种氮化铝晶体制备炉及其保温装置

权利要求书

1.一种氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，包括：

用于套设在加热器外侧的保温筒（4）；

设置在坩埚底端的底部保温屏（5）；和

设置在所述坩埚顶端的顶部保温屏（1）。

2.根据权利要求1所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，还包括套设在所述保温筒（4）外侧的侧面保温屏（3）。

3.根据权利要求2所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，还包括设置在炉底盘顶端的锆盘（7），所述底部保温屏（5）和所述侧面保温屏（3）均设置在所述锆盘（7）上。

4.根据权利要求3所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，还包括具有水冷装置的法兰（2），且所述顶部保温屏（1）设置在所述法兰（2）上。

5.根据权利要求1所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，所述顶部保温屏（1）包括第一保温层和套设在所述第一保温层外侧的第二保温层；所述第一保温层由依次套设连接的多层第一保温片构成，所述第二保温层由依次套设连接的多层第二保温片构成，所述第一保温片和所述第二保温片的中心轴线均重合；

所述底部保温屏（5）包括第三保温层和套设在所述第三保温层外侧的第四保温层；所述第三保温层由依次套设连接的多层第三保温片构成，所述第四保温层由依次套设连接的多层第四保温片构成，所述第三保温片和所述第四保温片的中心轴线均重合。

6.根据权利要求5所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，所述第一保温片和所述第三保温片均为钨片，相邻的两层所述钨片之间设有第一间隔；所述第二保温片和所述第四保温片均为钼片，相邻的两层所述钼片之间设有第二间隔；所述第一间隔和所述第二间隔均为3mm-10mm。

7.根据权利要求1所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，所述顶部保温屏（1）和所述底部保温屏（5）上分别设置有测温孔。

8.根据权利要求1所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，所述保温筒（4）的中心轴线与所述坩埚的坩埚轴（6）的中心轴线相重合，所述保温筒（4）的内壁与所述底部保温屏（5）的外壁相配合，且所述保温筒（4）的壁厚为2mm-20mm。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置，其特征在于，所述保温筒（4）为整体加工成型的圆柱形钨筒。

10.一种氮化铝晶体制备炉，包括保温装置，其特征在于，所述保温装置为如权利要求1-9任意一项所述的氮化铝晶体制备炉的保温装置。