[发明专利]一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法无效
申请号: | 201210568429.1 | 申请日: | 2012-12-24 |
公开(公告)号: | CN102976328A | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 江素华;张文文 | 申请(专利权)人: | 复旦大学 |
主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;B82Y30/00 |
代理公司: | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人: | 陆飞;盛志范 |
地址: | 200433 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 形貌 可控 一维硅 纳米 材料 制备 方法 | ||
1. 一种形貌可控的一维硅纳米材料的制备方法,其特征在于具体步骤如下:
将硅粉、一氧化硅粉和气化调节剂稀土元素镧粉置于陶瓷舟中,得混合物,其中一氧化硅粉和硅粉的质量比值为1.2~1.8,镧粉的在混合物中的质量比例为0~10%(其中0表示不含有镧粉),将陶瓷舟置于高温管式炉中,高温管式炉在1300℃恒温2~3h;将石英舟置于高温管式炉的低温区作为产物容器,以10~30Torr氩气作为载气,流速控制在60~80sccm,最终产物沉积在石英舟衬底上,得到不同形貌的一维硅纳米材料。
2. 根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,镧粉的在混合物中的质量比例为1~10.0%。
3. 根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在高温管式炉的低温区的沉积温度为850~950℃。
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