[发明专利]一种微孔的清洗方法有效
申请号: | 201210569621.2 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN103008293A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 佟艳群;姚红兵;张署光;张罗;王浩 | 申请(专利权)人: | 江苏大学 |
主分类号: | B08B7/00 | 分类号: | B08B7/00 |
代理公司: | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人: | 楼高潮 |
地址: | 212013 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 微孔 清洗 方法 | ||
1.一种微孔清洗方法,其特征在于,通过激光垂直冲击靶材产生等离子体,将微孔置于等离子体羽中,激光冲击点和微孔轴心连线与入射激光方向夹角在30°-60°之间,所述等离子体羽长度大于微孔长度,宽度大于微孔宽度。
2.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述靶材为金属材料Cu。
3.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述激光冲击点和微孔轴心连线与激光入射方向夹角为45°。
4.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述微孔与冲击点距离为1mm。
5.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述微孔为通孔。
6.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述微孔直径0.3mm,深度为1mm。
7.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述微孔置于惰性气体中。
8.根据权利要求1所述的一种微孔清洗方法,其特征在于,所述激光的波长为1064nm,能量为2J。
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