[发明专利]蒸镀用掩模板及其制造方法

权利要求书

1.一种蒸镀用掩模板，包括板框和拉平固定于板框上的掩模板，所述掩模板上设置有规则排列的多个蒸镀孔，其特征在于：所述多个蒸镀孔位于掩模板的中央，所述蒸镀孔的外围设置有至少一排缓冲孔，每个所述缓冲孔与所述蒸镀孔平行设置。

2.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述掩模板横向设置有N列蒸镀孔，纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别设置有一个排所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别设置有一个所述缓冲孔，形成一圈缓冲带。

3.如权利要求2所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。

4.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述缓冲孔为矩形通孔或盲孔。

5.如权利要求1所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述掩模板由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为30～100μm。

6.如权利要求5所述的蒸镀用掩模板，其特征在于：所述板框由镍铁合金或铟瓦合金制成，厚度为14-50 mm，宽度为30-80 mm。

7.一种权利要求1所述蒸镀用掩模板的制造方法，其特征在于，依次包括以下步骤：

将所述掩模板裁成稍大于所述板框大小的尺寸，平放在所述板框上，将掩模板的四边拉平并贴紧在所述板框上；

将所述掩模板焊接于所述板框上；

沿所述板框的外边缘切除多余的部分；

在所述掩模板的外围开设至少一排缓冲孔；

在掩模板的中间开设所述蒸镀孔，并使所述缓冲孔与蒸镀孔平行设置。

8.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述沿板框的外边缘切除多余的部分的步骤具体为：

采用激光工艺将所述多余部分切除。

9.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在蒸镀孔的外围开设至少一排缓冲孔的步骤具体包括：

沿掩模板的横向开设N列蒸镀孔，沿纵向设置有M行蒸镀孔，每行蒸镀孔的左右两边分别开设一个所述缓冲孔，每列蒸镀孔的上下两边亦分别开设一个所述缓冲孔，或者

每个所述蒸镀孔内部设置有条形网格，在所述蒸镀孔外设置有一排或一列缓冲孔，每排缓冲孔为N个，每列缓冲孔为M个，并分别与所述网格平行设置。

10.如权利要求7所述的制造方法，其特征在于，所述在掩模板上位于板框内处开设所述蒸镀孔的步骤具体为：

采用激光切割工艺或化学蚀刻工艺开设所述蒸镀孔。