[发明专利]一种铜铟镓硒共蒸发线性源装置及其使用方法

权利要求书

1.一种铜铟镓硒共蒸发线性源装置，包括若干组平行的线性源，其特征在于，所述线性源为可调节弯曲度的分节式线性源；所述分节式线性源两端设有横向拉伸调节器，通过关节螺栓和旋转关节与分节式线性源的两端可旋转连接；相邻两节单节线性源之间的所述关节螺栓上设有纵向拉伸调节器。

2.根据权利要求1所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述分节式线性源包括至少三节单节线性源，单节线性源之间柔性连接。

3.根据权利要求2所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述单节线性源之间以关节螺栓和旋转关节可旋转连接。

4.根据权利要求1-3任意一项所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述横向拉伸调节器和纵向拉伸调节器均由可精细调节的拉伸控制系统控制。

5.根据权利要求4所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述可精细调节的拉伸控制系统包括测量玻璃基板弯曲度的测量装置、连接横向拉伸调节器和纵向拉伸调节器的拉伸装置以及与测量装置和拉伸装置电性连接的控制系统。

6.根据权利要求5所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述单节线性源为圆柱形。

7.根据权利要求5所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述旋转关节为半圆形旋转关节。

8.根据权利要求5所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置，其特征在于所述旋转关节和关节螺栓的材质为耐高温防腐蚀材料。

9.根据权利要求5所述的铜铟镓硒共蒸发线性源装置的使用方法，其特征在于，所述控制系统根据所述测量装置检测到的玻璃基板的弯曲度调整所述拉伸装置，使得所述分节式线性源整体产生一个与所述玻璃基板相同的弯曲度。