[发明专利]一种硅基差动石英加速度传感器

权利要求书

1.一种硅基差动石英加速度传感器，其特征在于，包括相对方向安装的两个硅基（1）和双端固定石英音叉（3），硅基（1）由挠性硅梁（2）和质量块（4）组成，硅基（1）上的质量块（3）通过两个挠性梁（2）与硅基(1)相连；双端固定石英音叉（3）的一个支座（13）固定在硅基(1)的一端，另外一个支座（13）固定在质量块（4）上，双端固定石英音叉（4）的两个叉齿（15）通过固定端（14）与支座（13）相连，叉齿（15）四周覆有电极；硅基（1）夹在上过载保护板（10）和下过载保护板（12）中间，上过载保护板（10）由通孔（7）和上盲孔（9）组成，下过载保护板（12）有下盲孔（8）；硅基（1）、双端固定石英音叉（3）、上过载保护板（10）及下过载保护板（12）组成的结构置于电路板（5）的孔（11）中，双端固定石英音叉（3）通过金丝（6）穿过上过载保护板（10）的通孔（7）连接到电路板（5）。

2.根据权利要求1所述的一种硅基差动石英加速度传感器，其特征在于，所述的两个硅基（1）由同一个硅片加工出来。

3.根据权利要求1所述的一种硅基差动石英加速度传感器，其特征在于，所述的两个双端固定石英音叉（3）由同一个石英晶片加工出来。

4.根据权利要求1所述的一种硅基差动石英加速度传感器，其特征在于，所述的双端石英音叉（3）的两根叉齿（15）振动方向相反且在同一平面内。