[发明专利]一种带水冷效果的空心阴极管

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于材料表面等离子体处理的阴极管，特别是一种适用于皮革、柔性电路板等一些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。

背景技术

低温等离子体表面处理工艺是指在负压下（一般为几十帕），对一定的气体施加高频电场，使其激发成等离子体状态；等离子体作为物质的第四态，其中包含大量的电子，离子及自由基等活性粒子，这些活性粒子碰撞到被处理物体的表面，会发生相应的物理或化学反应，使材料表面的性质发生变化或是赋予新的功能，以达到其处理目的，满足实际应用的需要。

现有的空心阴极结构等离子体表面处理虽然能够对一些耐热性能较好的材质进行处理，但是由于空心阴极喷口在长时间的等离子体喷射过程中，喷口的温度会随着工作时间的加长而温度逐步升高，对于皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质，空心阴极结构等离子体进行表面处理时，则会损伤这些材料。

发明内容

针对上述存在的技术问题，本发明的目的是：提出了一种适用于皮革、柔性电路板等一些特殊材质表面处理的带水冷效果的空心阴极管。

本发明的技术解决方案是这样实现的：一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管绝缘管、空心阳极管、前端盖、后端盖；所述阴极管设置在空心阳极管的内侧；所述绝缘管设置在阴极管与空心阳极管之间；所述前端盖将阴极管、绝缘管和空心阳极管的前端密封，后端盖将阴极管、绝缘管和空心阳极管的后端密封；所述空心阳极管上设置有进气孔和等离子体喷口；所述进气孔和等离子体喷口均与阴极管内部的空间相连通；所述空心阳极管中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管上的等离子体喷口。

优选的，所述后端盖中空，后端盖的中空部位上设置有有机玻璃。

优选的，所述有机玻璃将阴极管后端密封，有机玻璃与阴极管之间设置有小O型圈。

优选的，所述前端盖与空心阳极管的前端之间设置有大O型圈，后端盖与空心阳极管的后端之间设置有大O型圈。

优选的，所述等离子体喷口有两排，两排等离子体喷口的位置相互交错。 

由于上述技术方案的运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：

本发明的带水冷效果的空心阴极管，通过在空心阳极管上设置水冷空间，使从等离子体喷口喷出的等离子体可以得到及时的冷却，因此，在对皮革、柔性电路板等一些耐热性比较低的材质进行表面等离子体处理时，等离子体的温度降到这些材料的温度耐受范围之内，可以安全地对这些材料进行表面处理而不会损伤这些材料。

附图说明

下面结合附图对本发明技术方案作进一步说明：

附图1为本发明的一种带水冷效果的空心阴极管的立体分解图；

附图2为本发明的一种带水冷效果的空心阴极管的结构示意图；

附图3为本发明的一种带水冷效果的空心阴极管的工作示意图；

其中：1、阴极管；2、绝缘管；3、空心阳极管；4、前端盖；5、后端盖；6、大O型圈；7、小O型圈；8、有机玻璃；9、等离子体喷口；10、等离子体；11、基材。  

具体实施方式

下面结合附图来说明本发明。

附图1-2为本发明所述的一种带水冷效果的空心阴极管，包含阴极管1绝缘管2、空心阳极管3、前端盖4、后端盖5；所述阴极管1设置在空心阳极管3的内侧；所述绝缘管2设置在阴极管1与空心阳极管3之间；所述前端盖4绝缘，前端盖4将阴极管1、绝缘管2和空心阳极管3的前端密封，前端盖4与空心阳极管3的前端之间设置有大O型圈6；所述后端盖5中空，后端盖5的中空部位上设置有圆形的有机玻璃8；所述有机玻璃8将阴极管1后端密封，后端盖5将绝缘管2和空心阳极管3的后端密封；所述有机玻璃8与阴极管1之间设置有小O型圈7，后端盖5与空心阳极管3的后端之间设置有大O型圈6；所述空心阳极管3上设置有进气孔和等离子体喷口9；所述等离子体喷口9有两排，两排等离子体喷口9的位置相互交错；所述进气孔和等离子体喷口9均与阴极管1内部的空间相连通；所述空心阳极管3中设置有水冷空间；所述水冷空间靠近空心阳极管3上的等离子体喷口9。