[发明专利]金属粉末雾化装置及其制备FeCoTaZr合金粉末的方法

权利要求书

1.一种金属粉末雾化装置，其特征在于：此装置包括上、下两个真空罐体，上罐体为真空熔炼室（1），下罐体为雾化室（2）；真空熔炼室（1）内安有中频感应熔炼炉（3）和中间包（4）；中间包（4）的底部安装导流管（5），导流管（5）的出口端在雾化室（2）的上方；在导流管（5）管壁的周围设有电阻加热装置（6），电阻加热装置（6）周围是限制式气雾化喷嘴（7）。

2.根据权利要求1所述的金属粉末雾化装置，其特征在于：所述中频感应熔炼炉（3）和中间包（4）的材质分别为氧化钙、氧化锆或氧化钇。

3.根据权利要求1所述的金属粉末雾化装置，其特征在于：所述导流管（5）的内径为2.0~5.0mm。

4.根据权利要求1所述的金属粉末雾化装置，其特征在于：所述导流管（5）的材质为氧化钙、氧化锆和氧化钇中的一种或一种以上。

5.利用权利要求1所述雾化装置制备FeCoTaZr合金粉末的方法，其特征在于：该方法包括下述步骤：

（1）按合金重量的重量比分别取20%~35%的Co 、5%~25% 的Ta、5%~15%的 Zr、余量Fe，进行配料；其中Fe、Co、Ta、Zr四种元素的纯度分别大于99.95%；

（2）将上述四种原料放入熔炼炉的坩埚中，在惰性气体保护下，升至1400~1600℃，将原料熔化，浇铸成预制锭；

（3）将预制锭放入雾化装置的真空熔炼室（1）的中频感应熔炼炉（3）中，在惰性气体保护下，升温至1500~1700℃将预制锭熔化完全，保温5~25min；然后将熔体浇入中间包（4），利用电阻加热装置（6）加热使中间包（4）温度为900~1200℃，熔体均匀化后经导流管（5）流出后，在限制式气雾化喷嘴（7）的作用下，在雾化室（2）内惰性气体作用下进行雾化，随后经过球化、冷却凝固成金属粉末（8）；其中雾化压力为1.0~5.0MPa。

6.根据权利要求1所述的制备FeCoTaZr合金靶材用粉末的制备方法，其特征在于：步骤（2）中所述熔炼炉的坩埚为氧化钙、氧化锆或氧化钇坩埚。

7.根据权利要求1所述的制备FeCoTaZr合金靶材用粉末的制备方法，其特征在于：所述惰性气体为氮气、氩气或氦气，其纯度大于99.999%。