[发明专利]抗蚀剂添加剂及包含它的抗蚀剂组合物

权利要求书

1.由下式（1）表示的抗蚀剂添加剂：

[化学式1]

其中在式（1）中，

R’、R”和R’”各自独立地表示选自氢原子、C₁-C₄烷基、卤原子和C₁-C₄卤代烷基的基团，在所述C₁-C₄卤代烷基中烷基中的一个氢原子被卤素原子所取代；

R₁和R₂各自独立地表示氢原子或者C₁-C₈烷基；

R₃表示选自氢原子和下式（2）和（3）表示的官能团的基团：

[化学式2]

[化学式3]

其中在式（2）和（3）中，

R₂₁表示氢原子或者选自C₁-C₂₀烷基、（C₁-C₂₀烷氧基）烷基、C₃-C₃₀环烷基、甲酰基、（C₁-C₂₀烷基）羰基、（C₃-C₃₀环烷基）羰基、（C₁-C₂₀烷基）羧基、和（C₃-C₃₀环烷基）羧基的羟基保护基团；

R₃₁表示选自C₁-C₂₀卤代烷基、有机硅基团和C₃-C₂₀烃基的疏水基团，以使如果R₃₁表示有机硅基团，p表示0，而如果R₃₁表示C₁-C₂₀卤代烷基或C₃-C₂₀烃基，p表示1；

R₂₂和R₃₂各自独立地表示选自C₁-C₂₀亚烷基、C₂-C₂₀亚烯基、C₁-C₂₀杂亚烷基、C₂-C₂₀杂亚烯基、C₃-C₃₀亚环烷基、C₃-C₃₀亚环烯基、C₂-C₃₀杂环烷二基和C₃-C₃₀杂环烯二基的基团；

R₂₃和R₃₃各自独立地表示选自和的酸不稳定性基团，其中R_a、R_b、R_c和R_d各自独立地表示选自C₁-C₂₀烷基、C₃-C₃₀环烷基、（C₁-C₁₀烷基）环烷基、羟基烷基、C₁-C₂₀烷氧基、（C₁-C₁₀烷氧基）烷基、乙酰基、乙酰基烷基、羧基、（C₁-C₁₀烷基）羧基、（C₃-C₁₈环烷基）羧基和C₃-C₃₀杂环烷基的基团，或者R_a、R_b、R_c和R_d相邻基团可以彼此结合形成C₃-C₃₀饱和或不饱和烃环或C₂-C₃₀杂环基团；

x表示0-3的整数；y表示0-10的整数；

R₄表示选自C₁-C₂₀卤代烷基、有机硅基团和C₃-C₂₀烃基的疏水性基团；

R₅表示选自氢原子、C₁-C₂₀烷基、C₂-C₂₀烯基、C₃-C₃₀环烷基、C₃-C₃₀环烯基、C₆-C₃₀芳基、C₁-C₂₀杂烷基、C₂-C₃₀杂环基团及其组合的基团；

l、m、n和o分别表示主链中相应的重复单元的比例，以使l+m+n+o=1，同时0<l/(l+m+n+o)<0.9，0.2<m/(l+m+n+o)<0.9，0≤n/(l+m+n+o)<0.9和0≤o/(l+m+n+o)<0.9，条件是当R₃表示氢原子或者由式（2）表示的官能团时，n不是0；和

p表示0或1的整数。