[发明专利]激光器

权利要求书

1.一种激光器，其包括一全反镜、一输出镜、一放电管和一工作介质，所述全反镜和输出镜分别设置于所述放电管的两端，所述全反镜、输出镜和放电管组成一谐振腔，所述工作介质填充于所述谐振腔内，所述全反镜具有一反射面，其特征在于，所述全反镜的反射面上设置有微结构，所述微结构包括至少一凸台台阶，所述凸台台阶由多个不同直径的凸台层叠设置而成。

2.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸台台阶中的多个凸台按直径大小依次层叠设置，且最靠近所述反射面设置的凸台的直径最大。

3.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸台台阶的高度在λ~10λ之间，其中，λ为所述激光器的工作波长。

4.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸台台阶的级数在2级至5级之间。

5.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述多个凸台具有相同的高度。

6.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述每个凸台的高度均在0.5λ~2λ之间。

7.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述每个凸台的直径均在0.5λ~2λ之间。

8.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述凸台台阶包括一第一凸台以及与该第一凸台层叠设置的第二凸台，所述第一凸台的直径为0.5λ，所述第二凸台的直径为λ，所述第一凸台和第二凸台的高度均为0.5λ。

9.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微结构包括多个间隔设置的凸台台阶。

10.如权利要求9所述的激光器，其特征在于，所述多个凸台台阶具有相同的高度。

11.如权利要求1或9所述的激光器，其特征在于，所述多个凸台的形状均为圆柱。

12.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述微结构的材料为金、铂和钯中的一种。

13.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述全反镜为一球面反射镜，该全反镜的曲率半径在0.5米至5米之间。

14.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述反射面设置在所述全反镜靠近所述输出镜的表面。

15.如权利要求9所述的激光器，其特征在于，所述多个凸台台阶靠近所述反射面的中心设置。

16.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述全反镜包括一本体和位于该本体表面的一金属膜。

17.如权利要求16所述的激光器，其特征在于，所述本体的材料为硅、二氧化硅和碳化硅中的一种，所述金属膜的材料为金、铂和钯中的一种。

18.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述输出镜的材料为锗、硒化锌和砷化镓中的一种。

19.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述放电管的直径在2毫米至10毫米之间。

20.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述谐振腔的腔长在400毫米至800毫米之间。

21.如权利要求1所述的激光器，其特征在于，所述工作介质为二氧化碳、氦气、氖气、氮气和一氧化碳中的一种。