[发明专利]一种衬底支承座

权利要求书

1.一种衬底支承座，包括相对设置的衬底支撑盘和加热装置，所述衬底支撑盘用于支撑待处理衬底；所述加热装置包括设有加热面的底盘以及多根两端连接有接线柱的电热丝，所述加热面面向所述衬底支撑盘，其特征在于，所述电热丝布设于所述底盘的加热面上；所述接线柱布设于所述加热面周围。

2.根据权利要求1所述衬底支承座，其特征在于，所述衬底支撑盘相对所述加热装置旋转。

3.根据权利要求1或2所述衬底支承座，其特征在于，所述加热面包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域；所述电热丝的布设密度从所述第一区域向所述第二区域逐渐增大。

4.根据权利要求3所述衬底支承座，其特征在于，所述电热丝在所述加热面上呈纺锤体状排布。

5.根据权利要求1或2所述衬底支承座，其特征在于，所述加热面包括第一区域和围绕所述第一区域的第二区域；所述电热丝在所述加热面上平行排布。

6.根据权利要求5所述衬底支承座，其特征在于，所述电热丝包括穿过所述加热面第一区域上方布设的中心加热组，以及在所述中心加热组两侧且布设于所述第二区域上方的的侧部加热组；所述中心加热组电热丝的布设密度小于所述侧部加热组。

7.根据权利要求1或2所述加热装置，其特征在于，还包括辅助加热组，所述辅助加热组的电热丝沿所述加热面的第二区域延伸设置。

8.根据权利要求6所述加热装置，其特征在于，还包括辅助加热组，所述辅助加热组在所述中心加热组上方且布设于所述加热面第二区域上。