[发明专利]一种六自由度磁浮微动台

权利要求书

1.一种六自由度磁浮微动台，其特征在于该装置包括微动台本体(1)和激光干涉测量系统(2)，所述的微动台本体(1)由载物台(1-1)、基座(1-2)、电机安装架(1-3)、电容位移传感器(1-4)和六自由度驱动电机(1-5)构成，其中六自由度驱动电机(1-5)包括电机动子(1-5-1)和电机定子(1-5-2)，且载物台(1-1)固装在电机动子(1-5-1)上，电机定子(1-5-2)通过电机安装架(1-3)固装在基座(1-2)上，电容位移传感器(1-4)配置在载物台(1-1)和基座(1-2)之间；所述的电机动子(1-5-1)包括由磁钢安装架上板(1-5-1-1)、磁钢安装架下板(1-5-1-2)、立柱(1-5-1-3)、支撑块(1-5-1-4)、水平运动磁钢(1-5-3)以及垂向运动磁钢(1-5-4)，其中磁钢安装架上板(1-5-1-1)和磁钢安装架下板(1-5-1-2)通过位于二者之间的立柱(1-5-1-3)和支撑块(1-5-1-4)固装在一起，水平运动磁钢(1-5-3)和垂向运动磁钢(1-5-4)呈等边三角形状均布配装在磁钢安装架上板(1-5-1-1)底面和磁钢安装架下板(1-5-1-2)顶面对应位置上；所述的电机定子(1-5-2)包括线圈盒上板(1-5-2-1)、线圈盒下板(1-5-2-2)、水平运动线圈(1-5-5)以及由在垂向运动定子磁钢(1-5-6-2)顶面和底面上配装的垂向运动定子线圈(1-5-6-1)构成的垂向运动定子(1-5-6)，其中水平运动线圈(1-5-5)和垂向运动定子(1-5-6)呈等边三角形均匀配装在线圈盒下板(1-5-2-2)的对应空腔内，由线圈盒上板(1-5-2-1)覆盖密封；六自由度驱动电机(1-5)位于初始状态时，水平运动线圈(1-5-5)位于上下两侧对称的水平运动磁钢(1-5-3)中心位置，且水平运动线圈(1-5-5)左、右部分分别位于磁场方向相反的水平运动磁钢(1-5-3)左、右部分中心，垂向运动定子(1-5-6)处于上下两侧对称垂向运动磁钢(1-5-4)中心位置，且垂向运动定子(1-5-6)和垂向运动磁钢(1-5-4)的轴线重合，上下两侧垂向运动磁钢(1-5-4)的磁极方向相同，并与垂向运动定子磁钢(1-5-6-2)的磁极方向相反，配置在垂向运动定子磁钢(1-5-6-2)顶面和底面上的垂向运动定子线圈(1-5-6-1)电流方向相反；所述的激光干涉测量系统(2)包括双频激光器(2-1)、1/2分光棱镜(2-2)、反射棱镜A(2-3)、反射棱镜B(2-4)、X向位移干涉测量光路(2-5)、Y向位移干涉测量光路(2-6)和L型反射镜(2-7)，所述的1/2分光棱镜(2-2)布置在双频激光器(2-1)出射光路上，X向位移干涉测量光路(2-5)布置在1/2分光棱镜(2-2)透射光路上，反射棱镜A(2-3)布置在1/2分光棱镜(2-2)反射光路上，反射棱镜B(2-4)布置在反射棱镜A(2-3)的反射光路上，Y向位移干涉测量光路(2-6)布置在反射棱镜B(2-4)的反射光路上，L型反射镜(2-7)配装在载物台(1-1)上，其两个相互垂直的反射面分别与X向位移干涉测量光路(2-5)和Y向位移干涉测量光路(2-6)的出射光路垂直；所述的X向位移干涉测量光路(2-5)包括偏振分光镜A(2-5-1)、角锥棱镜A(2-5-2)、角锥棱镜B(2-5-3)、1/4玻片A(2-5-4)和接收器A(2-5-5)，其中偏振分光镜A(2-5-1)位于1/2分光棱镜(2-2)透射光路上，1/4玻片A(2-5-4)布置在偏振分光镜A(2-5-1)的透射光路上，且位于偏振分光镜A(2-5-1)与L型反射镜(2-7)X向反射面之间，角锥棱镜A(2-5-2)和角锥棱镜B(2-5-3)对称布置在偏振分光镜A(2-5-1)的双向反射光路上，接收器A(2-5-5)布置在偏振分光镜A(2-5-1)的反向透射光路上；Y向位移干涉测量光路(2-6)包括偏振分光镜B(2-6-1)、角锥棱镜C(2-6-2)、角锥棱镜D(2-6-3)、1/4玻片B(2-6-4)和接收器B(2-6-5)，其中偏振分光镜B(2-6-1)位于反射棱镜B(2-4)反射光路上，1/4玻片B(2-6-4)布置在偏振分光镜B(2-6-1)的透射光路上，处于偏振分光镜A(2-6-1)与L型反射镜(2-7)Y向反射面之间，角锥棱镜C(2-6-2)和角锥棱镜D(2-6-3)对称布置在偏振分光镜B(2-6-1)的双向反射光路上，接收器B(2-5-5)布置在偏振分光镜B(2-6-1)的反向透射光路上。