[发明专利]保持具单元及划线装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用以在玻璃基板、陶瓷基板、硅基板等脆性材料基板上形成划线的保持具单元及具有该保持具单元的划线装置。

背景技术

以往，在液晶显示面板或有机电致发光(EL，Electroluminescence)面板等平面显示面板、太阳能电池等的制造步骤中，设有母玻璃基板等脆性材料基板的分断步骤。在该分断步骤中，通常使用如专利文献1中所记载的划线装置。而且，在分断步骤中，一面对该划线装置所具备的划线轮施加与脆性材料基板的材质及厚度等各种条件相适合的负载，一面使划线轮在脆性材料基板的表面上滚动而形成划线，通过对脆性材料基板负载规定的力而沿着划线分断脆性材料基板，从而制造出单个面板或各种基板。

例如下述专利文献1所示，该划线装置形成为保持具的旋转轴部插通在轴承中，且保持具可随着划线头的移动而旋转。

使用图6，对所述插通着保持具的旋转轴部的轴承进行说明。另外，图6所示的轴承是市售的称为防尘型的轴承，图6(a)表示轴承50的前视图，图6(b)表示轴承50的A-A线剖视图。轴承50包括：外侧的较大的外圈51、内侧的较小的内圈52、配置在外圈51与内圈52之间的多个旋转体53、及为了防止异物进入外圈51与内圈52之间等而在上下分别安装的密封构件54。

这时，轴承有如下类型：如图6(b)的虚线所包围的区域所示，密封构件54的内圈52侧的端部与内圈52的侧面之间设有间隙的类型；及密封构件54的内圈52侧的端部与内圈52的侧面接触的类型。

如图6(b)所示的密封构件54的内圈52侧的侧面与内圈52的侧面之间设有间隙的类型中，由密封构件54所造成的摩擦较少，适于需要高速旋转时。另一方面，密封构件54的内圈52侧的侧面与内圈52的侧面接触的类型中，防尘性及防水性较高，因此根据用途可分开予以使用。

而且，在随着脆性材料基板的大型化而分断步骤的高速化逐步发展的过程中，划线装置中多使用图6(b)所示的密封构件54的内圈52侧的侧面与内圈52的侧面之间设有间隙的类型的轴承。

[背景技术文献]

[专利文献]

专利文献1：日本专利特开2011-225001号公报

专利文献2：国际公开WO2004/007164号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

使用这种以往的划线装置对玻璃等脆性材料基板进行划线或分断时，存在如下问题：微小的玻璃屑等异物从内圈52与密封构件54之间所存在的间隙进入，而产生轴承的旋转不良，且产生保持具的动作不良。

这里，划线装置中有如下划线装置：为了更有效率地进行贴合基板的分断步骤，例如所述专利文献2所示，在脆性材料基板的下侧也具备划线头。而且，因异物从内圈52与密封构件54之间所存在的间隙进入而产生轴承的旋转不良的问题在上下均配置着划线头的划线装置的下侧的划线头中尤其常见。

因此，本发明人为了消除该问题而反复进行各种研究，结果想到通过在上下均配置着划线头的划线装置中，在下侧的划线头的轴承上配置堵塞轴承中存在的间隙的防尘构件，可消除所述问题，从而完成本发明。

即，本发明以消除所述问题为课题，目的在于提供一种尤其在上下均配置着划线头的划线装置的下侧的划线头中，可防止因异物进入轴承的内部而导致的旋转不良的划线装置。

[解决问题的技术手段]

为了达成所述目的，本发明的第一态样是一种保持具单元，其特征在于，包括：保持具，包含用以保持对脆性材料基板进行划线的划线轮的轮保持部、及旋转轴部；以及轴承，安装在所述旋转轴部；

所述轴承包括：外圈；内圈，位于所述外圈的内侧；多个旋转体，配置在所述外圈与所述内圈之间；以及密封构件，以覆盖所述外圈与所述内圈之间且不与所述外圈或所述内圈直接接触的方式配置；且

在所述轴承的所述轮保持部侧，配置着堵塞所述外圈或所述内圈与所述密封构件间的间隙的防尘构件。

根据本发明的第一态样，在保持具单元中，以堵塞构成轴承的内圈或外圈与密封构件之间所形成的间隙的方式在轴承的轮保持部侧配置着防尘构件，因此能以简单的构造低价地使分断脆性材料基板时所产生的玻璃屑等异物不易进入轴承内。

此外，本发明的第二态样是一种划线装置，其特征在于：配置着包含保持具单元的划线头，该保持具单元包括：划线轮，对脆性材料基板进行划线；保持具，包含用以保持所述划线轮的轮保持部、及旋转轴部；以及轴承，安装在所述旋转轴部；