[发明专利]基于间接式微机械微波功率传感器的频率检测装置

权利要求书

1.一种基于间接式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，该检测装置包括

间接式微机械微波功率传感器、功率分配器、功率合成器、传输线移相器、可调数字式移相器；其中，

将待测信号（V_x）加到功率分配器的输入端口（7），待测信号（V_x）被等分为功率、频率和相位均相同的第一路信号（V_x1）和第二路信号（V_x2），第一路信号（V_x1）加在传输线移相器的输入端口（14），经移相后加在功率合成器的输入端口一（17），第二路信号（V_x2）加在可调数字式移相器的输入端口（11），经过可调数字式移相器（12）搬移一定的相位角度后加到功率合成器的输入端口二（18）；这两路信号经过功率合成器（19）进行矢量合成后到达功率合成器的输出端口（20），然后加在间接式微机械微波功率传感器的输入端口（21）上。

2.根据权利要求1所述的基于间接式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，间接式微机械微波功率传感器包括共面波导传输线（1），电阻（2），热电堆（3），压焊块（4），薄膜（5）和砷化镓衬底（6）；其中，

薄膜（5）设在衬底（6）的表面，共面波导传输线（1）、电阻（2）、热电堆（3）、压焊块（4）分别设在薄膜（5）表面，共面波导传输线（1）与电阻（2）相连，热电堆（3）与压焊块（4）相连，电阻（2）与热电堆（3）相对设置且相距一定距离。

3.根据权利要求2所述的基于间接式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，衬底（6）为砷化镓衬底，电阻（2）为氮化钽电阻，薄膜（5）铝镓砷薄膜。

4.根据权利要求1所述的基于间接式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，通过传输线移相器在待测信号（V_x1）的相位的基础上增加额外的与其长度ΔL有关的相位角度所搬移的相位角度与频率成线性关系，是一个唯一的值。

5.根据权利要求4所述的基于间接式微机械微波功率传感器的微波频率检测装置，其特征在于，其特征在于，

由通过了传输线移相器的信号频率、传输线长度和移相度三者之间的关系，即

便可以得知待测信号（V_x）的频率f，f₀为传输线移相器的特定中心频率，c为光速，ε_er为传输线移相器的有效介电常数，ΔL即二分之一波长。