[发明专利]共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器

权利要求书

1.一种共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，由上安装板(1)、下安装板(2)、洁净压缩气源(3)、气管(26)和隔振器主体(4)组成，隔振器主体(4)安装在上安装板(1)与下安装板(2)之间，洁净压缩气源(3)通过气管(26)与隔振器主体(4)连接，其特征在于：所述隔振器主体(4)的结构中，套筒(6)的下表面与下安装板(2)通过轴向承载平面气浮面(21)润滑与支撑，活塞筒(5)倒扣安装在套筒(6)内，并与套筒(6)通过径向承载圆柱气浮面(22)润滑与支撑，滑动关节轴承(7)安装在活塞筒(5)和上安装板(1)之间，套筒(6)与X向气浮导轨(29)通过X向导轨气浮面(31)润滑与导向，X向气浮导轨(29)与下安装板(2)通过Z向承载气浮面(33)润滑与支撑，Y向气浮导轨(30)与下安装板(2)刚性连接，X向气浮导轨(29)的两端与Y向气浮导轨(30)通过Y向导轨气浮面(32)润滑与导向；Z向音圈电机(10)、Z向位移传感器(13)、Z向限位开关(16)、Z向电涡流阻尼器(42)安装在活塞筒(5)与套筒(6)之间，X向音圈电机(8)、X向位移传感器(11)、X向限位开关(14)、X向电涡流阻尼器(40)与Y向音圈电机(9)、Y向位移传感器(12)、Y向限位开关(15)、Y向电涡流阻尼器(41)安装在套筒(6)与下安装板(2)之间，Z向音圈电机(10)的驱动力方向为竖直方向，X向音圈电机(8)与Y向音圈电机(9)的驱动力方向在水平面内且相互垂直，X、Y、Z向位移传感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位开关(14、15、16)的作用线方向与X、Y、Z向音圈电机(8、9、10)的驱动力方向一致，X、Y、Z向电涡流阻尼器(40、41、42)的阻尼力方向分别与X、Y、Z向音圈电机(8、9、10)的驱动力方向一致；X、Y、Z向位移传感器(11、12、13)和X、Y、Z向限位开关(14、15、16)分别与控制器(19)的信号输入端连接，控制器(19)的信号输出端与驱动器(20)的信号输入端连接，驱动器(20)的信号输出端分别与X、Y、Z向音圈电机(8、9、10)连接。

2.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述X向电涡流阻尼器(40)由套筒(6)下表面侧壁沿X向音圈电机(8)驱动力方向安装的X向永磁体(40A)构成，Y向电涡流阻尼器(41)由套筒(6)下表面侧壁沿Y向音圈电机(9)驱动力方向安装的Y向永磁体(41A)构成，Z向电涡流阻尼器(42)由套筒(6)内圆柱面侧壁沿Z向音圈电机(10)驱动力方向安装的Z向永磁体(42A)构成，X、Y、Z向永磁体(40A、41A、42A)的磁极方向垂直于套筒(6)的表面，且N、S极交替布置，套筒(6)采用铁磁材料，活塞筒(5)与下安装板(2)采用不导磁的良导体材料。

3.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述活塞筒(5)内设有气体压力传感器(17)，活塞筒(5)上设有进气口(23)和电磁阀(18)，气体压力传感器(17)与控制器(19)的信号输入端连接，控制器(19)的信号输出端与驱动器(20)的信号输入端连接，驱动器(20)的信号输出端与电磁阀(18)连接。

4.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述X、Y、Z向音圈电机(8、9、10)为圆筒型音圈电机或平板型音圈电机。

5.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述X向气浮导轨(29)和Y向气浮导轨(30)为单导轨结构或双导轨结构。

6.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述X、Y、Z向位移传感器(11、12、13)为光栅尺、磁栅尺、容栅尺或直线式电位器。

7.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述X、Y、Z向限位开关(14、15、16)为机械式限位开关、霍尔式限位开关或光电式限位开关。

8.根据权利要求1所述的共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器，其特征在于：所述活塞筒(5)内气体压力为0.1MPa～0.8MPa。