[发明专利]一种具有柔性关节的容器

说明书

本发明提供一种一种容器，包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。

技术领域

本发明涉及低气压容器机械连接部件领域，尤其涉及一种用于低气压容器的连接关节。

背景技术

在半导体设备的制造过程中，反应器需要抽成低压，接近真空才能对基片进行处理形成所需要的基片结构，其它化工或者生物技术等需要低压环境的反应器或容器都需要在容器腔体和至少一个盖体实现开关。盖体通过铰链使盖体一端与腔体相固定，另一端围绕铰链旋转移动，使盖体与容器具有打开和关闭两种状态。在闭合时抽走容器内的空气或者充入需要进行处理的气体直到获得需要的气压。在打开时盖体移动，解除密闭状态。由于盖体较重很多容器都包括一个气缸支撑臂辅助盖体开启和关闭，并且在关闭时能够保持盖体和腔体间的气密性。但是所有这些盖体、腔体、铰链、气缸支撑臂在制造过程中都存在公差，特别是容器尺寸较大时，这些公差积累后导致的尺寸不匹配是不能忽略的。比如在盖合时支撑臂长度偏短，在开启盖体时受到盖体上下气压差和盖体本身重力的合力，原来用于辅助的气缸支撑臂由于气缸已经存在拉伸，所以向上的支撑力不够，操作人员很难靠手臂力量将盖体拉起。相反的在支撑臂长度偏长的情况下，在盖合过程中支撑臂的向上支撑力较大，可能会造成盖体与腔体间出现缝隙，影响气密效果。由于传统支撑臂的尺寸是固定的所以无法再做补充调整，所以除了更换尺寸更合适的部件，没有其它办法。上述尺寸偏差太大时甚至会发生盖体与腔体卡死等极端情况。

所以业内需要一种更好的盖体支撑装置，能够克服尺寸偏差带来的盖合不紧密或者，盖体打开困难的问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种柔性开关提供更好的盖体支撑装置，能够克服尺寸偏差带来的盖合不紧密或者，盖体打开困难的问题。

本发明的应用于一种容器包括：一个腔体，一个盖体，所述盖体包括第一部分通过铰链固定到腔体，第二部分随铰链转动而相对腔体移动一个支撑臂包括第一端连接到腔体，第二端通过一个柔性关节连接到所述盖体，其中所述柔性关节包括一个本体和一个中心旋转轴，本体上还包括一个离心旋转轴，所述中心旋转轴固定到盖体上，所述支撑臂的第二端固定到所述离心旋转轴上。柔性关节本体上包括一个限位槽，与盖体上的限位突出部配合限制本体的旋转角度，或者可以是柔性关节本体上包括一个限位突出部，与盖体上的限位槽配合限制本体的旋转角度。

其中柔性关节也可以设置在支撑臂第一端与腔体之间。

支撑臂包括一个气缸和一个支撑杆。

支撑臂的两端均可以通过一个柔性关节分别连接到腔体和盖体。

附图说明

图1a为本发明容器处于盖合状态整体示意图；

图1b为本发明容器处于打开状态整体示意图；

图2a为本发明图支撑臂柔性关节外侧示意图；

图2b为本发明图支撑臂柔性关节内侧示意图；

图3为本发明图2b中柔性关节剖面示意图。

具体实施方式

以下结合图1至3，详细说明本发明实施例。